提升4.02倍能量的高效率ArF准分子激光复合腔技术

本文主要探讨了高效率ArF准分子激光复合腔技术的研究，该技术在短波长、高光子能量的193纳米ArF准分子激光领域具有显著的实际价值。随着集成电路光刻、材料加工以及激光医学等领域的快速发展，对光源的性能要求不断提高，特别是在光子能量和效率方面。 研究团队首先通过结合线宽压窄技术方案，精心设计了一种新型的193nm ArF准分子激光器复合腔结构。这种结构的设计旨在优化激光器的能量转换和输出性能。复合腔的原理在于通过特定的光学设计，能够有效地控制激光的模式和相位分布，从而提高能量密度。 针对准分子激光器特有的长腔特性，文章提出了一个关键的解决方案，即实现窄带激光模式的锁定。这一技术有助于抑制腔内的非线性效应，减少模式间的相互干涉，使得激光输出更加稳定。实验验证显示，与常规采用色散元件的单窄带腔相比，采用锁定技术的复合腔在保持输出线宽基本不变的前提下，激光能量实现了显著提升，具体提升了4.02倍。这不仅极大地提高了激光器的输出功率，还明显改善了激光的稳定性，对于激光设备的整体性能提升具有重要意义。 文章的关键词包括激光器、准分子激光器、复合腔、高效率和窄线宽，这些是全文的核心研究内容。此外，该研究还遵循了TN248的中图分类号和A的文献标识码，表明了论文的专业性和学术性。这项工作为提高ArF准分子激光器的性能提供了新的途径，对于推动相关领域的发展具有重要的科学价值和实践指导意义。