Silvaco TCAD实战：二维与三维仿真解析

"高级的特性-electrical machinery-Silvaco TCAD-半导体工艺和器件仿真工具SilvacoTCAD实用教程唐龙谷" Silvaco TCAD是一款强大的半导体工艺和器件仿真软件，它提供了丰富的二维和三维仿真功能。在第四章“高级特性”中，主要探讨了Silvaco软件的特色和扩展能力，特别是C语言解释器的应用。 在二维仿真方面，Silvaco的ATHENA和ATLAS分别用于工艺和器件的仿真。ATHENA支持一维仿真器SSuprem3，以及一维实现的ATHENA1D，同时具备DeckBuild的全部功能。而ATLAS则专注于器件仿真，结合DeckBuild，用户能够构建和定制复杂的仿真模型。 在三维仿真领域，Silvaco的Victory平台包括VictoryCell、VictoryProcess、VictoryDevice和VictoryStress，可以进行全方位的三维工艺、器件和应力仿真。本章特别提到了ATLAS3D和VictoryCell，它们为用户提供了详尽的三维仿真解决方案。对于其他三维仿真器，用户可以参考手册和示例进行学习。 Silvaco的一个显著优势在于其内置的C语言解释器（SCI），它允许用户使用类似于C语言的语法来编写函数文件，描述器件仿真的参数。例如，一个示例展示了如何使用C解释器定义电子迁移率随温度、组分和掺杂浓度变化的模型。这极大地增强了软件的灵活性和可扩展性，用户可以根据实际需求定制材料属性和工艺校准。 此外，Silvaco TCAD在半导体行业的应用广泛，被全球众多半导体公司用于研究、开发、测试和生产。尽管其他EDA软件如EWB、PSPICE等在电路设计中占有重要位置，但在半导体工艺和器件仿真领域，Silvaco TCAD因其强大的功能和深度定制能力，成为了业界的首选工具。作者唐龙谷的书籍深入浅出地介绍了如何使用Silvaco TCAD进行二维工艺和器件仿真，并提供了实践经验和技巧，特别适合初学者入门学习。 Silvaco TCAD的高级特性体现在其全面的仿真能力、强大的自定义功能以及直观的C语言接口，这使得它在半导体技术快速发展的今天，成为了一个不可或缺的仿真工具。