第
42
卷,第
2
期
2005
年
2
月
海之疙~疙~ð-嗲进展
Vo
1.
42
,
No.2
Feb.
2005
激光微细熔覆柔性直写厚膜电阻和
电极结合行为的研究
李慧玲
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曾晓雁
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李惠芬
2
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉
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提要
采用了激光微细熔覆柔性布线技术,结合数控
CAD/CAM
功能,在无掩模的基础上实现了在绝缘基板上直写厚
膜电阻和电极单元,但由于激光和电阻材料的相互作用是一个传热传质的复杂过程,电阻和电极间的界面行为将严重地影
响该元件的可靠性和再现性等
。
针对上述情况,本文通过优化工艺设计方案进行电阻和电极的直写,并从电阻和电极界面
的结合行为以及对形成电阻的表面性能、电气性能的影响进行分析和讨论。结果表明采用该优化工艺所制备的电阻和电极
结合良好,性能和质量可靠稳定
。
关键词
微细熔覆
直写
电阻和电极
可靠性和再现性
Interfacial
Behavior
Research
on
Thick-film
Resistance
and
Electrode
by
Laser
Micro-fine
Cladding
and
Flexibly
Direct
Writing
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Abstract
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- film resistance and
electrode
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directly written on insulating substrate without mask is realized
when the author combines laser micro - fme
cladding
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direct writing with numerical control
CAD/CAM
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resistance materials.
In
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behavior
of
resistance and electrode
will
have a severe effect
on
reliability
and
repeatability
of
由
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componen
臼.
The
authors adopts different methods to write resistance and electrode directly
, and go
on
analyzing and discussing
surface and electric properties
of
resistance affected by interfacial behavior
of
resistance and electrode. The results
show
由
at
combination
of
electrodes and resistances fabricated by optimal processing is good , and their properties
and
quality
缸
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stable and reliable.
Kew
words
laser micr
o-
fine cladding flexibly direct writing resistance and electrode reliability and repeatability
1
引言
值
。
这种工艺过程在传统的厚膜电
子技术中一直广为应用
[1]
其优点
在基板表面上成就微细图形的技
术和工艺的要求越来越高,规范越
来越严密。因此要提高实现微细
图形可靠性越来越困难。这就迫切
需要发展成本低、周期短、阻值精
确可调的新工艺、新方法。
传统的厚膜电路制作中,电阻
的形成与阻值的精确控制一般采
用两步法完成,即先利用丝网印刷
等方法在基板表面预制电阻,经过
烧结成型后,再用微调设备对电阻
值进行微调,直到获得所需要的阻
在于可靠性高,但生产周期较长,
需要预先制作模板,对于小批量电
子元器件的生产而言,成本相对较
高
。
目前,由于电子元器件的微型
化以及电子封装紧密化的提高,对
收稿日期:
2004-10-18:
收到修改稿日期:
2004-11
一
02
国
资助项目:国家
863
高新技术
(2001AA421290)
和国家自然科学基金
(50075030)
资助课题
。
作者简介:李慧玲
(1972-)
女,山西人,华中科技大学在读博士研究生
本课题组在国际上率先将传