深圳大学微纳光电子：MACH滤波器与深蚀刻二元光学研究进展

微纳光电子技术是当前科研领域的热点，它融合了电子学、光学、材料学以及微纳米制造技术，推动着光电子器件向着更高精度发展。深圳大学微纳光电子技术研究所是这一领域的研究机构，由徐平教授领导，他们专注于二元光学元件特别是深蚀刻二元光学元件的研究。 徐平团队的研究集中在以下几个关键点上： 1. 微纳光学器件：他们研究了凸微透镜阵列和凹微透镜阵列，这两种器件利用光的衍射原理实现微型化，可设计出各种复杂波前，并集成多种功能。昆虫复眼作为自然界的微纳光学结构，也为他们的研究提供了灵感。 2. 硅基光电器件：通过CMOS图像传感器、手机摄像头和数字单反照相机等实例，展示了微纳光电子技术在实际设备中的应用，这些器件在图像处理和传感方面发挥着重要作用。 3. 微纳材料：微纳光电子技术依赖于精细的材料制备，包括对材料性能的深入理解和优化。研究团队探讨了微纳材料的特性，如高深宽比、高能量密度等，这些都是实现高性能光学元件的关键。 4. 深蚀刻二元光学元件：这是团队的特色研究，他们开创性地提出了4阶二元光学元件的衍射效率与制作误差的关系，并开发了模拟软件，这有助于优化元件的设计和制造过程。他们还发展了一种具有特殊深度和高深宽比的深蚀刻技术，创造了具有焦距缩短效应的新一代光学元件。 5. 光学元件制作误差分析：团队深入研究了制作误差对元件性能的影响，不仅建立了经验公式，还开发了相关软件工具，这对于提高元件的稳定性和性能至关重要。 徐平团队在微纳光电子领域的研究成果不仅丰富了理论知识，也推动了相关技术的实际应用，为下一代信息技术和光学器件的发展做出了重要贡献。他们的工作对于提升光学器件的效能、缩小元件尺寸以及解决光学系统中的象差问题都具有深远影响。