梯形算子在AFM驱动器非对称迟滞校正中的应用

0 下载量 61 浏览量 更新于2024-08-29 收藏 533KB PDF 举报
"基于梯形算子的AFM驱动器非对称迟滞性校正" 在原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)技术中,精确的驱动器控制是至关重要的,因为这直接影响到纳米级别的观测与操作的精度。然而,常见的驱动器如压电陶瓷(Piezoelectric Ceramic, PZT)存在非线性的迟滞效应,这种效应会降低AFM的观测质量和操作精度。迟滞现象是指材料在相同的输入信号下,其输出响应会因加载和卸载方向的不同而不同,这种非对称性对于精密控制来说是一个重大挑战。 传统的Prandtl-Ishlinskii (PI)模型被广泛用于描述压电陶瓷的迟滞行为,并且可以用于前馈控制策略来补偿迟滞非线性。但是,这种模型对于处理PZT的非对称迟滞特性显得无能为力。为了解决这一问题,研究者提出了一种新的基于梯形算子的非对称迟滞模型。梯形算子是一种数学工具,可以更精确地捕捉和描述非对称的迟滞特性。 这个模型的独特之处在于,它能够通过系统辨识方法获取逆模型参数。系统辨识是控制理论中的一个分支,旨在通过测量系统的输入和输出来确定其内部模型。通过这种方法,可以获得驱动器的逆模型,从而实现对非对称迟滞特性的前馈补偿控制。 在实际的AFM系统中,研究人员进行了实验验证,结果表明,基于梯形算子的非对称迟滞模型能够显著减少由非对称迟滞引起的建模误差。利用这个模型进行前馈迟滞补偿控制,可以显著提升AFM扫描成像的质量,即提高分辨率和稳定性,这对于纳米级别的精细观察和操作至关重要。 关键词涵盖的领域包括非对称PI模型、梯形算子、原子力显微镜、压电陶瓷、迟滞性前馈校正以及逆模型直接辨识。这些概念和技术都是现代精密测量和控制科学的核心组成部分,它们的研究和应用对于推动AFM技术的发展,以及更广泛的纳米科技领域都具有深远影响。 这篇研究论文提出了一个新的方法来校正AFM驱动器的非对称迟滞效应,该方法基于梯形算子的非对称迟滞模型和系统辨识技术,能够有效提升AFM的性能,对于纳米科学研究和工程实践具有重要价值。