光学相干层析法：高效检测光学薄膜内部缺陷的新策略

本文主要探讨了光学薄膜缺陷的光学相干层析（Optical Coherence Tomography, OCT）检测方法的研究。随着光学薄膜在许多领域，如光学通信、光学存储和光学器件中的广泛应用，对其内部缺陷的无损高精度检测变得至关重要。OCT作为一种非侵入性成像技术，利用光的干涉现象来获取物体内部结构的三维信息，特别适合于透明或半透明材料的表面和内部结构分析。 研究者秦玉伟及其团队采用谱域OCT技术，对单层和多层光学薄膜进行了实验研究。通过理论分析，他们解释了OCT如何通过不同波长的光束在薄膜内部产生干涉图案，这些图案反映了薄膜内部的微小变化，包括缺陷的存在。通过处理和分析这些干涉信号，他们成功获得了光学薄膜的二维层析图像，这些图像清晰地展示了薄膜的内部结构，包括缺陷的位置和形态。 实验结果显示，谱域OCT技术在光学薄膜缺陷检测方面具有显著的优势，能够提供高分辨率的缺陷信息，有助于评估薄膜的质量和性能。这种技术不仅减少了传统检测方法可能造成的破坏性，还能提高检测的准确性和可靠性。此外，该研究还强调了OCT技术在现代光学工业中的实际应用价值，尤其是在对薄膜产品的精密制造和质量控制中的重要角色。 本文的关键词包括“测量”、“光学相干层析成像”、“光学薄膜”和“缺陷检测”，这些词汇准确地概括了文章的核心内容。中图分类号TH744.3和O439指定了研究的专业方向和主题类别，文献标识码A则表明这是一篇经过同行评审的学术论文，DOI:10.3788/LOP52.071202是该论文在《中国激光》杂志上的唯一标识。 这篇研究为光学薄膜缺陷的高效、精确检测提供了一种创新的技术手段，对于提升光学产品质量和优化生产工艺具有重要的科学价值和实践意义。