电测法精确测定梳齿微机械加速度计机械参数

本文主要探讨了"电测法测量梳齿式微机械加速度计的机械参数"这一主题，发表于2003年的《清华大学学报（自然科学版）》第43卷第5期。论文由李疆、高钟毓、董景新、刘云峰和王松等作者合作完成，他们来自清华大学精密仪器与机械学系，研究工作得到了国家十五科技攻关项目的资金支持。 电测法是一种创新的测量技术，它通过在施力电极上加载直流电压，使产生的静电引力与摆片的重力相匹配，以此建立一个静电力与重力平衡的系统。通过解析这个关系，研究人员能够精确地计算出梳齿式微机械加速度计敏感元件的机械参数，如质量和刚度等关键特性。这种方法对于评估加工工艺对系统性能的影响具有显著优势，因为它能够在没有特殊测量环境和设备的情况下进行，非常适合在制造现场进行实时监测和优化。 论文的研究内容包括检测电路的放大性能实验，这种实验验证了电测法在测量过程中的稳定性和准确性。此外，还进行了加速度计重力场静态翻滚实验和摆片的静电吸引实验，这些实验证明了该方法不仅能够测量静态性能，还能提供动态响应的初步理解。 论文的关键词集中在微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）、加速度计、机械参数以及电测法上，这表明其研究焦点在于如何利用电子技术来深入理解和控制微机械系统的物理性质。这篇文章为梳齿式微机械加速度计的精密设计和制造提供了实用的测量工具和技术，对微电子和微机械领域的科研和工程实践具有重要的参考价值。