微细电解线切割加工技术：实现30μm微缝与微结构

"微细缝结构电解加工研究 (2009年)，作者：王少华、朱获、曲宁松等，南京航空航天大学" 本文详细探讨了微细缝结构电解加工的技术及其应用，重点关注了微细电解线切割加工的机制。这种加工方法利用电化学原理，采用直径约为10μm的钨丝线作为工具电极，进行精密加工。在电解加工过程中，由于电极与工件之间的距离极其微小，容易出现短路现象，这对加工精度和稳定性构成挑战。对此，研究人员提出了一种进给运动控制方案，旨在有效防止短路并确保加工过程的连续性。 为了制造出如此微小的钨丝线电极，研究团队采用了电化学腐蚀法。这种方法在线制备电极，确保了电极的精细度和一致性，为微细缝结构的加工提供了可能。此外，考虑到微细电解线切割加工的特殊性，他们还设计了一个定制的冲液系统，这个系统能够更有效地清洗加工区域，提高加工效率和精度。 文章中提到，电解液的性质、加工电压和加工速度是影响微细电解线切割加工精度的关键因素。通过对这些参数进行对比试验，研究者找到了最佳的加工条件。通过优化这些参数，他们在不锈钢0Crl8Ni9试件上成功地加工出了宽度仅为30μm的微缝，以及直径为10μm的高精度探针和90°微直角结构。这些成果显示了该技术在实现微米级别精度加工方面的潜力，而且加工出的结构尺寸均匀，稳定性良好。 关键词涉及的领域包括微细缝结构、线状电极、电解加工和加工精度，这表明该研究不仅关注微观结构的制造，还着重于提高加工工艺的精确性和可靠性。文章的中图分类号TG662表明这属于机械工程的范畴，而文章编号1004--132X(2009)08一0965一06则提供了文献的引用信息，便于后续的学术交流和参考。 这篇2009年的研究论文深入研究了微细缝结构电解加工的技术细节，包括加工机制、电极制备、冲液系统设计以及关键工艺参数的优化，为微纳制造领域提供了一种高效且精确的加工手段，对于推动微电子、医疗器械等高精度行业的技术进步具有重要意义。