FileVersion 1 1;
FileTimestamp 06-21-18 07:13:45;
InspeconStaonID "" "NONE" "NPKLA03";
SampleType WAFER;
ResultTimestamp 06-21-18 07:13:45;
LotID "N3D565";
SampleSize 1 200;
SetupID "N618_ILD_BPTEOS" 06-21-18 07:13:45;
StepID "ILD_BPTEOS";
DeviceID "N618";
SampleOrientaonMarkType NOTCH;
OrientaonMarkLocaon DOWN;
DiePitch 3.8200600000e+003 3.5599800000e+003; //本机台没有 Die，此项无值
DieOrigin 0.000000 0.000000; //本机台没有 Die，此项无值
WaferID "04";
Slot 4;
IsOverload False;//本机台新增内容
SNR 5.3; //本机台新增内容
SampleCenterLocaon 1.0188300000e+003 3.1414600000e+003;//此项本机台目前没有，请提供此项具体意义，我方评估
ClassLookup 256//此项本机台目前没有，请提供此项具体意义，我方评估
0 "0"
1 "small parcle"
2 "large parcle"
3 "Filaments"
4 "color"
5 "Unde>ned"
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