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NEDA使用手册

NEDA用户手册

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NEDA Desktop Edition

使用手册

http://www.nornion.com

目录

1 简介

NEDA Desktop Edition 是什么 ..........................................

1-1

功能简介 ............................................................................

1-2

安装和激活 ........................................................................

1-3

用户界面介绍 .....................................................................

1-4

基本分析步骤 .....................................................................

1-5

2 操作 STDF

打开 STDF 文件 .................................................................

2-1

解析 STDF .........................................................................

2-2

编辑 STDF .........................................................................

2-3

拆分与合并 STDF ..............................................................

2-4

3 数据表格视图

Summary 信息 ...................................................................

3-1

测试数据视图 .....................................................................

3-2

测试项的定义信息..............................................................

3-3

数据筛选 ............................................................................

3-4

过程能力统计（mean, StDev, CPK 等） ...........................

3-5

4 主要失效和生产过程分析

柏拉图（Hbin, SBin, Test） ..............................................

4-1

累计 yield 趋势图 ...............................................................

4-2

Run Sequence ..................................................................

4-3

Bin 发生频次图（Occurrence Chart）...............................

4-4

5 参数项的统计分布

直方图（Histogram） ........................................................

5-1

趋势图（Trend Chart） .....................................................

5-2

箱图（Box plot） ...............................................................

5-3

Probability Chart ................................................................

5-4

散点图（Scatter plot） ......................................................

5-5

6 晶圆 map分析

Wafer Map（Excel, HTML, TXT） ....................................

6-1

Parametric Map（参数基于圆片的分布） .........................

6-2

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