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NEDA Desktop Edition
使用手册
http://www.nornion.com
目录
1 简介
NEDA Desktop Edition 是什么 ..........................................
1-1
功能简介 ............................................................................
1-2
安装和激活 ........................................................................
1-3
用户界面介绍 .....................................................................
1-4
基本分析步骤 .....................................................................
1-5
2 操作 STDF
打开 STDF 文件 .................................................................
2-1
解析 STDF .........................................................................
2-2
编辑 STDF .........................................................................
2-3
拆分与合并 STDF ..............................................................
2-4
3 数据表格视图
Summary 信息 ...................................................................
3-1
测试数据视图 .....................................................................
3-2
测试项的定义信息..............................................................
3-3
数据筛选 ............................................................................
3-4
过程能力统计(mean, StDev, CPK 等) ...........................
3-5
4 主要失效和生产过程分析
柏拉图(Hbin, SBin, Test) ..............................................
4-1
累计 yield 趋势图 ...............................................................
4-2
Run Sequence ..................................................................
4-3
Bin 发生频次图(Occurrence Chart)...............................
4-4
5 参数项的统计分布
直方图(Histogram) ........................................................
5-1
趋势图(Trend Chart) .....................................................
5-2
箱图(Box plot) ...............................................................
5-3
Probability Chart ................................................................
5-4
散点图(Scatter plot) ......................................................
5-5
6 晶圆 map分析
Wafer Map(Excel, HTML, TXT) ....................................
6-1
Parametric Map(参数基于圆片的分布) .........................
6-2
http://www.nornion.com
圆片叠片图(Stacked Map) ............................................
6-3
7 其他
软件配置 ............................................................................
7-1
NEDA 解析库 .....................................................................
7-2
http://www.nornion.com
1
简介
NEDA Desktop Edition 是什么.
功能简介.
安装和激活
用户界面介绍
基本操作步骤
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