mems 陀螺仪
mems 陀螺仪 即硅微机电陀螺仪，绝大多数的 MEMS 陀螺仪依赖于相互正交的振
动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集
机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一
体的完整微型机电系统。
目录
• mems 陀螺仪的原理
• mems 陀螺仪的特点
• mems 陀螺仪的构成
• mems 陀螺仪的选用
• mems 陀螺仪的安装
mems 陀螺仪的原理
• MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因
此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化.
但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片
衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事.MEMS 陀螺仪利用科里奥利力——
旋转 物体在有径向运动时所受到的切向力. 下面是导出科里奥利力的方法. 有力学知识的
读者应 该不难理解.
在空间设立动态坐标系(图一).用以下方程计算加速度可以得到三项,分别来自径向加
速,科里奥利加速度和向心加速度.
如果物体在圆盘上没有径向运动,科里奥利力就不会产生.因此,在 MEMS 陀螺仪的设
计 上,这个物体被驱动,不停地来回做径向运动或者震荡,与此对应的科里奥利力就是不停
地 在横向来回变化,并有可能使物体在横向作微小震荡,相位正好与驱动力差 90 度.
逝者_如斯
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