III
目录
第一章 仿真基础 ............................................................................................1
1.1 TCAD ..................................................................................................................... 1
1.1.1 数值计算 ........................................................................................................ 1
1.1.2 基于物理的计算 ............................................................................................ 2
1.2 Silvaco TCAD ........................................................................................................ 3
1.2.1 主要组件 ....................................................................................................... 4
1.2.2 目录结构 ....................................................................................................... 7
1.2.3 文件类型 ....................................................................................................... 8
1.3 DeckBuild .............................................................................................................. 8
1.3.1 DeckBuild Preferences ................................................................................. 10
1.3.2 语法格式 ...................................................................................................... 14
1.3.3 go .................................................................................................................. 15
1.3.4 set ................................................................................................................. 15
1.3.5 Tonyplot ........................................................................................................ 16
1.3.6 Extract .......................................................................................................... 28
1.4 学习方法 ............................................................................................................. 35
第二章 二维工艺仿真 ..................................................................................36
2.1 ATHENA 概述 ..................................................................................................... 36
2.2 仿真流程 ............................................................................................................. 42
2.2.1 定义网格 ...................................................................................................... 42
2.2.2 衬底初始化 ................................................................................................. 45
2.2.3 工艺步骤 ..................................................................................................... 48
2.2.4 提取特性 ..................................................................................................... 48
2.2.5 结构操作 ..................................................................................................... 48
2.2.6 Tonyplot 显示 ............................................................................................... 49
2.3 单项工艺 ............................................................................................................. 49
2.3.1 离子注入 ..................................................................................................... 49
2.3.2 扩散 ............................................................................................................. 57
2.3.3 淀积 ............................................................................................................. 60
2.3.4 刻蚀 ............................................................................................................. 63
2.3.5 外延 ............................................................................................................. 71
2.3.6 抛光 ............................................................................................................. 73
2.3.7 光刻 ............................................................................................................. 77
2.4 集成工艺 ............................................................................................................. 91
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