三丰线性编码器：高精度制造与评估技术

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"日本三丰(Mitutoyo)是一家知名的精密测量工具制造商，其产品包括光栅尺。本文档详细介绍了三丰的光栅尺产品，特别是用于控制的线性编码器系统。三丰在宇都宫事业所的清原生产部采用一体化生产流程，从制造玻璃栅尺到最终组装和检查，确保线性编码器的高品质和精度。该生产部还拥有一个地下研究楼，具备理想的环境条件，以减少温度、湿度变化和外部振动的影响，从而实现高精度的刻度加工和测量。文中提及的溅射装置和原子钟等设备，表明三丰与先进的计量标准机构合作，确保其测量设备的精确度与世界标准同步。例如，三丰宇都宫计量标准校准中心配备了633nm碘分子饱和吸收稳频He-Ne激光器，用于长度测量，以及光波干涉测长机，用于线性栅尺的高精度评估。三丰的线性栅尺按照日本国家标准分为国家标准、二级标准和实用标准三个等级。其评估技术基于一套自主开发的真空激光干涉测长机，该系统设在地下研究楼，能最大限度减少不确定性因素，达到世界领先的误差水平。此外，这套技术曾获得精密工学会和发那科FA机器人类财团的奖项认可。文档还展示了线性编码器的工作原理和控制用线性栅尺系统的结构，包括分离式/ST系列的产品详细信息，如ST36和ST24等型号的特性与应用。这些资料对于选择和使用三丰光栅尺的工程师和技术人员来说，是非常宝贵的参考资源。"

正弦波输出

方波输出型

测长装置（小型）

分离式

/ST

系列

ST46-EZA

分离式

系列

ST46-

EZA

●配备通过按钮控制的“信号自动调节功能（

EZA

功能）”

●连接器外壳上配备“安装指示器”，可在安装读数头时确认信号强度（无需示波器和

）

●通过连接

，可以实现“信号强度确认”、“参数设定”（选件：应用程序）

●在连接器外壳内配置

I/F

电路，实现“省空间化”

●读数头的厚度仅有

7.5mm

，金属带栅尺型的安装截面积为

12.5

9.325mm

，可实现省空间设计

●备有玻璃栅尺和金属带栅尺

■特点

■规格

■系统构成

反馈电缆

输出连接器（附件）

控制器

用户自备（反馈电缆、控制器）

主尺

检测装置

项目

型号

ST46-EZA

检测方式反射光电线性编码器

栅尺规格玻璃规格金属带规格

主尺刻度间距

20μm

输出信号波形

型：二相方波

原点脉冲

外部复位输入

型：二相方波

原点脉冲

二相正弦波

有效测量长度

～

3000mm

指示精度

（在

℃下）

有效测量长度

～

300 mm

：±

1 μm

有效测量长度

350

～

500 mm

：±

2 μm

有效测量长度

600

～

1000 mm

：±

3 μm

有效测量长度

1100

～

3000 mm

：±

3 μm/m

有效测量长度

～

1000mm

：

5μm

有效测量长度

1100

～

3000mm

：

5μm/m

(

以上精度适用于单个栅尺。如采用两端固定，请在拉

伸固定后，实施两点间补偿

)

线膨胀系数

（

）

X10

-6

℃

（

11.5

）×

-6

℃

※安装部件的材质相当于铁时

栅尺原点有（

50mm

间距、

～

80mm

：中央

点）

最大响应速度

2.6m/s (

正弦波振幅

-3dB)

供电电源电压

DC5V

最大消耗电流

250mA

使用温度

湿度范围

～

℃　

20%

～

80%RH

（无冷凝）

保存温度

湿度范围

-20

～

℃　

20%

～

80%RH

（无冷凝）

玻璃栅尺型

金属带栅尺型

两端固定规格

金属带栅尺型

双面胶固定规格

分离式

系列

ST46-

EZA

规格项目选择方式

●

ST46-EZA

备有多种规格。

●请根据所需规格选择下列数字和字母。

　另外，如需标准规格（下列推荐项目●标记），请

按

P18

～

P22

的货号、型号进行委托。

ST46-EZA - -

■主信号输出形态

符号内容

方波＋外部复位输入

方波＋正弦波

■有效测量长度

符号

有效测量

长度（

）

符号

有效测量

长度（

）

符号

有效测量

长度（

）

0010 10 0450 450 1600 1600

0025 25 0500 500 1700 1700

0050 50 0600 600 1800 1800

0075 75 0700 700 2000 2000

0080 80 0800 800 2200 2200

0100 100 0900 900 2400 2400

0150 150 1000 1000 2500 2500

0200 200 1100 1100 2600 2600

0250 250 1200 1200 2800 2800

0300 300 1300 1300 3000 3000

0350 350 1400 1400

0400 400 1500 1500

■分辨率、最小边缘间隔

符号分辨率最小边缘间隔最大响应速度

0.05 μm

100 ns 450 mm/s

B 200 ns 225 mm/s

C 400 ns 112 mm/s

D 800 ns 56 mm/s

0.1 μm

100 ns 900 mm/s

●

F 200 ns 450 mm/s

G 400 ns 225 mm/s

H 800 ns 112 mm/s

0.5 μm

100 ns 2600 mm/s

K 200 ns 2250 mm/s

L 400 ns 1125 mm/s

M 800 ns 562 mm/s

1 μm

100 ns 2600 mm/s

P 200 ns 2600 mm/s

Q 400 ns 2250 mm/s

R 800 ns 1125 mm/s

5 μm

100 ns 2600 mm/s

T 200 ns 2600 mm/s

U 400 ns 2600 mm/s

V 800 ns 2600 mm/s

■特殊型号

符号内容

●无标准选择规格

特别规格

■读数头电缆长度

符号长度

●

A 1m

（标准）

B 0.5m

C 2m

特殊长度指定（

Max.2.5m

）

■报警输出形态

符号内容

●

报警信号

高阻抗

■方向

符号内容

●

正

反

相

相位差

°（

Typ

）

输出信号间距

20μm

Vpp=2v V

=V ref. (Vcc/2

≈

2.5V)

0.8

0.4mm

= 2.5V

（最小）

= 0.5V

（最大）

：

边缘间隔、分辨率

原点标志

读数头移动方向

栅尺轨迹

相脉冲宽度

方向为正时正弦波、方波输出信号（

相、

相）、原点信号的

波形如下图所示。

■型号含义

※标准规格在商品符号的有效测量长度部分采用不同的标记，敬请注意。

标准规格示例）

有效测量长度

10mm: ST46EZA

□

-0010

有效测量长度

250mm: ST46EZA

□

-0250

■原点位置、栅尺形状

符号栅尺形状（有效测量长度）

原点位置

（有效测量长度）

●

玻璃栅尺单体－

t4.8

w22

（

100

～

3000mm

）

50mm

间距

●

玻璃栅尺单体－

t2.8

（

～

80mm

）中央

点

●

带铝基座玻璃栅尺－

t5.1

w23

（

～

80mm

）中央

点

金属带栅尺两端固定－

t0.2

w13

（

500

～

3000mm

）

50mm

间距

金属带栅尺双面胶固定

－

t0.2

w13

（

～

3000mm

）

中央

点（

～

80mm

）

50mm

间距（

100

～

3000mm

）

特殊形状特殊位置指定

分离式

系列

ST46-

EZA

●有效测量长度

100

～

3000mm

单位：

S/N B0000777

ST46-EZA MADE IN JAPAN

06ADY287 Kawasaki,Japan

S/N B0700001

M2.5

深度

M2.5

深度

:机器导轨

2.8

R2.75

4.52

4.5

5.5

0.2

+0.5

4.8

14.1

0.1

（

1.8

）

7.5

（

9.3

）

（

）

有效长度

（

）

12.5

8.5

0.2

安装间距

13.5

16.3

0.2

全长

0.9

0.2

0.41.50.41.5

0.02

A0.05

栅尺固定弹簧

■测长装置尺寸表

货号型号

有效测量长度

(mm)

栅尺

全长

(mm)

栅尺固定

间距

(mm)

栅尺

固定弹簧

A (

个

)

栅尺

固定弹簧

B (

个

)

579-670-

□

1 ST46EZA

◇

-100A

100 140 50

579-671-

□

1 ST46EZA

◇

-150A

150 190 75 2

579-672-

□

1 ST46EZA

◇

-200A

200 240 100 2

579-673-

□

1 ST46EZA

◇

-250A

250 290 60 4

579-674-

□

1 ST46EZA

◇

-300A

300 340 75 4

579-675-

□

1 ST46EZA

◇

-350A

350 390 85 4

579-676-

□

1 ST46EZA

◇

-400A

400 440 100 4

579-677-

□

1 ST46EZA

◇

-450A

450 490 75 6

579-678-

□

1 ST46EZA

◇

-500A

500 540 80 6

579-679-

□

1 ST46EZA

◇

-600A

600 640 100 6

579-680-

□

1 ST46EZA

◇

-700A

700 740 85 8

579-681-

□

1 ST46EZA

◇

-800A

800 840 100 8

579-682-

□

1 ST46EZA

◇

-900A

900 940 90 10

579-683-

□

1 ST46EZA

◇

-1000A

1000 1040 100 10

579-684-

□

1 ST46EZA

◇

-1100A

1100 1140 90 12

579-685-

□

1 ST46EZA

◇

-1200A

1200 1240 100 12

579-686-

□

1 ST46EZA

◇

-1300A

1300 1340 130 10

579-687-

□

1 ST46EZA

◇

-1400A

1400 1440 100 14

579-688-

□

1 ST46EZA

◇

-1500A

1500 1540 125 12

579-689-

□

1 ST46EZA

◇

-1600A

1600 1640 100 16

579-690-

□

1 ST46EZA

◇

-1700A

1700 1740 120 14

579-691-

□

1 ST46EZA

◇

-1800A

1800 1840 100 18

579-692-

□

1 ST46EZA

◇

-2000A

2000 2040 100 20

579-693-

□

1 ST46EZA

◇

-2200A

2200 2240 100 22

579-694-

□

1 ST46EZA

◇

-2400A

2400 2440 100 24

579-695-

□

1 ST46EZA

◇

-2500A

2500 2540 95 26

579-696-

□

1 ST46EZA

◇

-2600A

2600 2640 100 26

579-697-

□

1 ST46EZA

◇

-2800A

2800 2840 100 28

579-698-

□

1 ST46EZA

◇

-3000A

3000 3040 100 30

※以上货号产品为推荐项目

（●标记）的规格。如需推荐规格，请按以上货号进行指定。

◇

→

（二相方波

外部复位输入）

：

□

→

◇

→

（二相正弦波

二相方波）

：

□

→

●有效测量长度

100

～

3000mm

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海德汉光栅尺的安装细节

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