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iv Sentaurus™ Process User Guide
M-2016.12
Specifying Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Aliases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19
Default Simulator Settings: SPROCESS.models File. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Compatibility With Previous Releases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Parameter Database. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Parameter Inheritance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Like Materials: Material Parameter Inheritance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Interpolation Between Like Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Interface Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Alloy Materials and Parameter Interpolation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Using Parameter Interpolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Interpolation Function Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Interpolation at Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Defining Alloy Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Regionwise Parameters and Region Name-Handling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Parameter Database Browser: Viewing the Defaults . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Starting the Parameter Database Browser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
PDB Browser Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Viewing Parameter Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
PDB Browser Preferences . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Viewing Parameters Stored in TDR Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Understanding Coordinate Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Wafer Coordinate System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Simulation Coordinate System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Creating and Loading Structures and Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Defining the Structure: The line and region Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Creating the Structure and Initializing Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Defining the Crystal Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Automatic Dimension Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Interpolating Field Data From an External Structure File Using the load Command . 43
Loading 1D Profiles: The profile Command. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Saving Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Saving a Structure for Restarting Simulations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Saving a Structure for Device Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Converting Silicon Material to SiGe Material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Saving Doping Information in SiC and GaN for Device Simulations. . . . . . . . . . . . . 49
Saving 1D Profiles for Inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Saving 1D TDR Files From 2D and 3D Simulations, and 2D TDR Files From 3D
Simulations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
The select Command (More 1D Saving Options) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
The datexcodes.txt File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
References. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
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