SAW, FBAR的历史
早 在1855年, 瑞 利(Lord Rayleigh)就 从 数 学 的 角 度
发现了弹性表面波(SAW :Surface Acoustic Wave)的存在。
1965年,怀特(White)和沃尔特默(Voltmer)联合发明了叉
指式换能器(IDT :Inter Digital Transducer),从而取得了表
面波在滤波器应用技术上的关键性突破。首先在TV的IF波
段上将LC滤波器更换为SAW滤波器,此外,在雷达信号
处理方面,开始使用SAW设备。在发明了IDT之后的短短
12年后,威廉姆森(Williamson)于1977年发表了45种SAW
设备的开发产品实际应用清单 (Proc.1977 IEEE Ultrasonic
Symposium pp.460-468) 其中,不但阐述了其优越的特性,
同时也介绍了已被广泛应用的TV用IF滤波器、CATV滤波器、
雷达用脉冲压缩机等10多种设备
。
之后,SAW设
备的应用范围不断扩大,作为一种通讯
工具在无绳电话及pager上得到应用,现在的手机等通讯系
统大多也都采用了该设备。此外,在影像系统的卫星转播
调谐器上也采用了该设备,同时,面向数字地面电视的其
他移动通讯介质,随着数字播放及卫星数字广播、社会基
础设施的不断变迁,在使用范围逐渐扩大的同时,SAW设
备也得到了更广泛的应用。GPS用滤波器在汽车导航装置、
远程信息处理及手机上也得到应用,同时,随着在无线遥
控门锁及轮胎气压监控系统等车载用途等方面、以及通信
功能的各种应用程序方面的应用不断深入,相信不久的将
来势必会在更多类型的设备上得到应用。
薄膜体声波谐振器(FBAR :Film Bulk Acoustic Resonator)
发表于1980年,而真正开始应用则是在1999年Ruby等人发
表了PCS Duplexer之后。
SAW设备的原理
如果将小石子扔进水池,溅起的水波就会传播到周围
水面呢!如果敲击桌面,
也会感觉到桌面的振动传到了敲
击部位的周围。在自由表面的弹性介质上,局部表面都有
一种传播波存在。这种传播波就是弹性表面波。而在地震时,
在最初从地下传来的P波、S波之后,沿着地表传播振动的
波就会随之而来。这种波就相当于弹性表面波。
弹性表面波设备使用沿着压电材料表面传播的弹性表
面波。之所以要使用压电材料,是因为需要将电信号转换
为弹性表面波。如果从外部施加电场,压电材料则会发生
形变。因此,在压电线路板表面形成一种被称为叉指式换
能器的梳齿状电极(以下称IDT :InterDigital Transducer),
这时如果向它发出信号就可以产生一种波。在压电线路板
表面形成的波的速度、声速基本都是由线路板及波的种类
所决定,通过更改这种梳齿的间距,可以改变激励波的频
率。同时,在SAW到达IDT后,若该SAW与IDT的间距相符,
那么就会在IDT的电极间产生电信号。
波的种类
这种用于SAW设备的波也有几个种类,根据其不同的
特性而得到有效且相应的应用。SAW设备上一般使用由水
晶或LiNbO
3
、LiTaO
3
等结晶形成的晶圆作为压电材料,即
使是同样的结晶,但根据其所形成的晶圆切割角度、传播
方向的不同,波的传播特性也会发生变化。所谓传播特性
是指传播速度、机电耦合系数、TCD(延迟时间温度系数)
等。
传播速度将会决定形成梳齿状电极时、达到设备所需
频率而需要的间距范围。而机电耦合系数则关系到形成电
极时滤波器等所能获得的通频带宽度。TCD关系到使用温
度环境下滤波器等的频率变化范围。线路板及其切割角度、
传播方向的选择应根据设备所需的频率特性来决定。
Section 2
SAW/FBAR 设备的工作原理及使用范例