Windows版Silvaco TCAD 2012详细安装教程

"这篇文档详细介绍了Windows环境下安装Silvaco TCAD 2012的步骤，包括设置许可服务器、复制文件、修改许可证文件以及安装新的许可证。Silvaco的核心产品涉及2D/3D TCAD、3D RC提取、SPICE模型提取、自定义设计、SPICE仿真和电源完整性签收等多个领域。" 正文: Silvaco是一家提供高级半导体工艺和设备模拟工具的公司，其主要产品Silvaco TCAD是一款广泛应用于微电子、纳米技术和光电领域的仿真软件。Silvaco TCAD 2012的安装过程相对复杂，下面我们将详细讲解各个步骤： 1. **启动安装**：首先运行安装文件"12110-tcad-2012-00-win.exe"，在安装选项中勾选"Install License Server"，然后点击"Next"进行下一步。 2. **设置服务器密码**：安装完成后，系统会提示设置服务器密码，你需要记录这个密码，因为它在后续步骤中会用到。如果出现浏览器自动打开的网页，可以暂时忽略，稍后会用到。 3. **停止服务**：为了进行后续的文件覆盖，需要停止"StandardFloatingLicenseManager (SFLMSERVERD)"服务。你可以通过桌面的快捷方式"S.EDATools"，选择"Stop Server"来完成。 4. **复制文件**：将"eetop.cn_key"文件夹中的"rpc.sflmserverd.exe"文件复制，然后找到Silvaco的安装目录，将其粘贴到"sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.2.7.R\x86-nt"路径下，替换原有的文件。如果遇到安全软件的拦截，请选择允许操作。 5. **启动服务**：重新启动"StandardFloatingLicenseManager (SFLMSERVERD)"服务，可以通过"S.EDATools"快捷方式中的"Start Server"来实现。 6. **访问服务器网页**：安装结束后，可能会自动打开或者通过快捷方式"SFLM Admin"打开服务器页面。登录时输入之前设置的密码，获取并记录"Machine IDs"，每台电脑的Machine ID都是唯一的。 7. **修改许可证文件**：使用记事本打开"eetop.cn_key"文件夹中的"Silvaco.lic"，将其中的"LM_HOSTIDS"行的"xxxxxxxxx"替换为你刚才记录的"Machine IDs"，确保不添加额外的空格，然后将修改后的文件复制到"sedatools\etc"目录下。 8. **安装新许可证**：回到服务器网页，选择左侧的"Install new license"，然后选择"Install Saved File"，在"sedatools\etc"目录下选择你修改过的许可证文件，点击"Agree"来安装新的许可证。 完成以上步骤后，你的Silvaco TCAD 2012就成功安装并配置了许可证，可以开始使用其强大的2D/3D TCAD工具，进行半导体器件的建模和仿真。需要注意的是，Silvaco的产品还包括其他功能，如3D RC提取、SPICE模型提取、自定义设计、SPICE仿真以及电源完整性签收，这些工具对于半导体研发和设计人员来说是非常宝贵的资源。在使用过程中，务必确保遵循正确的步骤和许可协议，以避免任何潜在的问题。