Tonyplot教程：Silvaco TCAD中关键功能与应用

本文档主要介绍了Silvaco TCAD，一款在半导体行业广泛应用的计算机辅助设计（CAD）软件。Silvaco TCAD因其在工艺仿真和器件仿真领域的先进性和广泛性，已经成为全球半导体制造商的首选工具。章节内容详细讲解了该软件的基础，特别是其在仿真过程中的关键功能。 首先，从第一章"仿真基础"开始，着重介绍了Tonyplot这一核心工具，它是软件中的一个重要界面，允许用户进行数据分析和可视化。在Plot菜单中，用户可以进行数据的Display操作，通过Display(2D Mesh)对话框调整显示方式，设置仿真数据的显示细节。此外，用户还能添加文本标签（如"vgate=1.1V"等），以标记关键点或变量值，这对于理解模拟结果至关重要。 在注解部分，用户能够设置图表的标题、轴位置、名称和范围，确保清晰的图表呈现。Level Names功能允许用户自定义不同层级的显示名称，如芯片编号或器件类型。通过Set Zoom和Zoom Out功能，用户可以方便地在图形中进行区域放大或恢复全视图。 此外，文档还提到了三维仿真的简要概述，强调尽管三维功能更为复杂，但在书中会涉及一些关键注意事项，以帮助初学者了解其在实际应用中的局限和优势。 值得注意的是，尽管TCAD在半导体行业得到了广泛应用，但市场上关于TCAD软件的教材相对较少，尤其是在对比其他通用电子设计自动化（EDA）软件如EWB、PSPICE、Cadence等时。作者希望借助自己的学习和使用经验，编写这本书，填补这一空白，为半导体工艺和器件仿真的新手提供一个易于入门的指南。 本资源详细介绍了Silvaco TCAD的界面操作、关键功能和使用技巧，特别关注于二维仿真器ATHENA和ATLAS的深度剖析，以及如何有效地利用Tonyplot进行数据解读。这对于想要深入半导体领域或者寻求提高TCAD技能的人来说，是一份宝贵的学习资料。