INFICON SQC-310 薄膜镀层控制仪安全与操作指南

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0 下载量 36 浏览量 更新于2024-07-04 收藏 723KB PDF 举报
"SQC-310系列薄膜镀层控制仪用户手册,涵盖了安全信息、保用政策、操作指南和菜单结构等内容。" SQC-310系列薄膜镀层控制仪是一款专业用于薄膜沉积工艺控制的设备,适用于各种精密镀膜应用。手册中的安全信息是操作者必须遵循的重要指南,强调了在安装、运行和维修设备时应先阅读手册,以防止潜在的人身伤害和设备损坏。特别提到不应安装非原厂部件或进行未经授权的改动,以保持设备的安全特性。 手册中提到的安全符号,如警告和警示,分别用于提示可能导致人身伤害或死亡以及设备损坏或数据丢失的情况。使用者在使用产品前需仔细阅读这些警示信息,确保正确操作。此外,设备存在危险电压,因此需要正确接地,以保障操作人员的安全。 关于保用信息,INFICON公司提供两年的材料和工艺缺陷保修期,但不包括因误用或擅自改动产品造成的损坏。如果产品在保修期内出现问题,INFICON将决定修理或更换。同时,手册中还提到30天的无理由退货政策,但来回运费由购买方承担。 在操作部分,手册引导用户快速开始,从了解面板布局、后板接口、系统连接方法到设备的安装和菜单使用。其中,薄膜沉积的概述帮助用户理解基本的工艺流程,而建立过程、定义膜系、膜层以及设置传感器和源则详细介绍了如何配置和控制沉积过程。运行过程和调谐环章节则提供了实际操作的步骤和故障排查指南。 菜单部分详细介绍了控制仪的各种功能菜单,包括主屏上的三个主要菜单选项以及快速编写、过程、膜层复制、插入、删除和膜系设置等子菜单,这些菜单使得用户能够灵活地定制和管理他们的镀膜工艺。 SQC-310系列薄膜镀层控制仪用户手册是一份全面且详尽的参考资料,旨在帮助用户安全、高效地使用该设备,实现精确的薄膜镀层控制。通过熟悉和遵循手册中的指导,用户能够有效地掌握设备的操作和维护,优化镀膜工艺,确保产品质量。