超快激光脉冲整形调控介电材料微加工与重铸

0 下载量 72 浏览量 更新于2024-08-27 收藏 655KB PDF 举报
"通过控制超快激光的子脉冲数量、脉冲延迟和脉冲能量分布,可以实现电子动力学的调控,从而改变介质中的吸收、激发、电离和电子再结合,产生更小、更清洁且更可控的结构。实验表明,通过整形飞秒脉冲列来调整瞬态局部电子动力学,可以控制激光烧蚀尺寸和再沉积形态。" 在超快激光技术领域,激光烧蚀是一种重要的微纳米加工手段,尤其在精密光学、微电子和生物医学等领域有广泛应用。本文的研究聚焦于如何利用脉冲序列整形来优化激光对绝缘体材料的烧蚀效果。具体来说,标题中的"Ultrafast laser ablation size and recast adjustment"指的是通过控制超快激光的参数来调整烧蚀区域的大小以及材料烧蚀后重新分布的形态。 描述中提到,通过改变超快激光的子脉冲数量、脉冲延迟和脉冲能量分布,可以控制电子的动态行为。在飞秒时间尺度上,激光脉冲与物质相互作用时,电子会经历一系列快速的过程,包括吸收光能、被激发到高能级、电离以及随后的再结合。这些过程直接影响到材料的烧蚀效率和质量。通过精细调控这些参数,可以实现对这些电子过程的精确控制,从而改变材料对激光能量的响应,进而影响烧蚀结果。 实验结果表明,通过整形脉冲列,可以有效地调整激光烧蚀的尺寸,这意味着可以更精确地控制加工的精度,这对于微纳米制造至关重要。同时,还能控制材料的再沉积,即烧蚀后的物质如何在工件表面重新分布。这对于获得特定形状和表面粗糙度的结构具有重要意义。 文章发表在《Chinese Optics Letters》2013年的4月刊,表明了中国科学家在这个领域的研究进展。作者团队来自北京理工大学的激光微/纳米制造实验室和美国内布拉斯加大学林肯分校的电气工程系,他们在激光与物质相互作用和精密激光加工方面有着深入的研究。 该研究揭示了超快激光烧蚀过程中电子动力学的调控策略,为实现更高精度和更复杂结构的激光加工提供了新的途径。这不仅对于提高微纳制造工艺的性能具有重要价值,也为后续的科学研究和工业应用开辟了新的可能。