绝对检验参考镜热变形分析与模型建立

“绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立”这篇研究文章主要探讨了在绝对检验过程中，如何分析和处理影响菲佐（Fizeau）型干涉仪参考镜面形精度的因素，特别是温度、重力和夹持力。通过采用Gram-Schmidt拟合方法，研究人员对参考镜面形的变形进行了量化分析，并对不同材料（K9、融石英和微晶）在均匀温度变化下的热变形进行了深入研究。此外，他们还研究了热变形对泽尼克（Zernike）系数的影响，并建立了相应的热变形模型。 文章指出，绝对检验是提高干涉仪参考镜面形精度的关键技术。在这一过程中，温度变化、重力和夹持力都会对检验的精度造成影响。研究中，利用Gram-Schmidt拟合方法，能够有效地拟合和分析参考镜因外部因素引起的面形变形。这种方法对于理解面形误差的来源及其量化评估具有重要意义。 在分析不同材料的热变形特性时，发现K9、融石英和微晶材料在受热时会有不同的变形行为。研究结果显示，融石英材料的整体变形量相对最小，而微晶材料的热变形量最小。这表明，选择合适的材料对于减小由温度变化引起的误差至关重要。具体到微晶材料，其参考面由于热变形产生的面形变化量均方根仅为0.37纳米/摄氏度，显示出良好的热稳定性。 文章进一步讨论了温度、重力和夹持力三者叠加耦合作用下，温度变化产生的变形量与温度变化量之间的关系，发现两者间仍然保持着近似的线性关系。这种关系对于预测和补偿因温度波动导致的误差提供了理论依据。 最后，通过对变形量的分析，建立了每种材料的热变形数学模型。这些模型有助于理解和预测在实际操作中可能遇到的面形误差，从而采取相应的校正措施，提高绝对检验的精度和可靠性。 该研究为提高菲佐型干涉仪的性能提供了一套有效的分析方法和理论模型，对于精密光学测量领域具有重要的实践指导意义。关键词涉及绝对检验、热变形模型、泽尼克拟合以及Gram-Schmidt拟合，这些都是光学测量和误差分析中的关键技术。