高反射曲面三维形貌测量:光栅相位偏折法

需积分: 15 2 下载量 57 浏览量 更新于2024-08-04 收藏 1.64MB PDF 举报
"基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量" 本文主要探讨了一种针对高反射曲面三维形貌测量的新方法,该方法利用光栅相位偏折技术进行精确的三维重构。高反射曲面通常在光学、航空航天和精密制造等领域中具有广泛应用,其形貌测量的准确性对于确保产品质量至关重要。传统的测量技术在面对这类表面时往往遇到困难,因为高反射性导致的强烈反光会干扰测量过程。 作者们提出了一个基于迭代的光栅相位偏折测量方法,这种方法能够克服高反射带来的挑战。首先,他们建立了相位偏折信息与被测物体表面梯度和高度之间的数学关系。相位偏折是光栅在经过高反射表面时发生的相位变化,它包含了关于表面形状的重要信息。然后,通过结合区域波前重构和路径积分的算法,可以将相位偏折数据转化为高度信息,从而恢复出被测物体的三维形貌。 在实验中,研究人员展示了这种方法能够有效地测量大范围(150mm×150mm×20mm)且曲率变化较大的高反射曲面。测量精度达到了约40微米,这是一个相当高的水平,满足了精密制造领域对高精度测量的需求。实验结果证实了该方法的有效性和实用性。 关键词涵盖了高反射曲面、三维形貌测量、光栅相位偏折、区域波前重构、路径积分和时间相位展开等核心概念。这些技术与理论是理解该研究的基础,其中光栅相位偏折技术是关键,它使得在复杂环境下对高反射表面的测量成为可能。区域波前重构和路径积分则是在数据处理和形貌恢复过程中不可或缺的工具,它们有助于从相位信息中提取出精确的几何形状。 这项工作为高反射曲面的三维形貌测量提供了一种创新解决方案,不仅扩展了测量技术的应用范围,也为相关领域的研究和实践带来了新的思路。通过提高测量精度和适应性,该方法对于提升高反射材料制造的质量控制具有重要意义。