贝加莱PCC与ACOPOS伺服在蚀刻线上的精密控制

0 下载量 77 浏览量 更新于2024-09-03 收藏 349KB PDF 举报
贝加莱PCC及ACOPOS伺服在刻蚀线上的应用技术着重于精密的槽孔荫罩刻蚀工艺流程。刻蚀线是一个复杂且关键的生产环节,涉及开卷、刻蚀、清洗和后处理等多个步骤。系统的核心在于刻蚀腔体,其中包含六个腔体,每个腔体由两台电机驱动,通过B&R的PCC和ACOPOS伺服技术实现精确控制。 PCC(Position Control Cabinet)是一种专用控制器,它负责电机的启动、停止以及运行模式的切换,确保刻蚀过程中喷嘴的精确摆动。ACOPOS伺服系统在此中起到至关重要的作用,它提供高性能的运动控制,可以根据工艺需求设定16个轨迹点,这些点以位置和速度坐标表示,确保电机沿着预设的轨迹执行,从而实现高效的刻蚀效果。 B&R的硬件配置主要包括2005系列CPU,搭载了SG4第四代控制系统和Intel处理器,具备电源模块、CPU模块、数字输入输出模块以及PowerLink网络接口,以支持12台伺服电机的连接和实时控制。通过PowerLinkIF786和HUB,电机被有效地组织成两条并联路径,以满足大容量、高效率的控制需求。 在整个刻蚀过程中,每个阶段都有特定的功能:开卷部分拉开带有光致抗刻蚀剂的钢带,进入刻蚀腔体进行化学反应;第一水洗则停止刻蚀并清除残留的FeCl3;电解剥离阶段利用NaOH去除光抗层;最终水洗去除剩余的碱液和杂质;烘干环节干燥钢带防止锈蚀;最后在撕边机中去除废边。这一系列精密的操作都依赖于B&R PCC和ACOPOS伺服的精准配合,确保了刻蚀线的高效和产品质量。 总结来说,贝加莱的PCC和ACOPOS伺服在刻蚀线的应用中扮演了核心角色,通过它们的高度集成和精确控制,保证了刻蚀工艺的稳定性和一致性,对于提升生产线的自动化水平和产品质量至关重要。