电子特气行业：国产替代加速，关键芯片制造耗材

"电子特气是半导体制造的关键原材料，包括电子大宗气体和电子特种气体，用于芯片制造的多个工艺环节，如清洗、沉积、光刻、刻蚀和掺杂。在全球和中国市场，半导体是电子特气的主要应用领域。电子特气在晶圆制造中的重要性仅次于硅片，对整个制造流程起着至关重要的作用。随着国产化进程的加速，国产替代有望在电子特气行业中取得进展。" 电子特气行业是半导体产业中不可或缺的一部分，其产品不仅种类繁多，而且在高科技领域的应用至关重要。电子特气主要分为两大类：电子大宗气体和电子特种气体。前者主要作为保护气和载气，而后者则在精细工艺中扮演关键角色，如在半导体芯片制造中用于刻蚀和掺杂等复杂步骤。由于其高技术含量和高附加值，电子特种气体是半导体、液晶显示面板、光伏、LED等行业的重要基础材料。 在晶圆制造中，电子特气的使用量仅次于硅片，占据原材料成本的14.1%。在晶圆制造的每一步工艺中，电子气体都有广泛的应用，尤其是刻蚀用气和掺杂用气，两者在2021年的使用量分别占据了36%和34%。考虑到整个生产过程，可能需要使用到100多种不同的电子气体，特别是在关键的成膜、清洗、沉积、刻蚀、掺杂和离子注入等工段，约有40-50种电子特气参与其中。 当前，全球电子特气市场中，半导体应用占据主导地位，占比达到73.1%，显示面板和光伏分别占19.4%和3.1%。在中国，尽管半导体应用占比略低，但也达到了43%，显示面板和光伏分别占21%和13%。随着中国对半导体自主可控的重视，国产电子特气的替代进程有望加速，以减少对外依赖，提升国内半导体产业链的完整性和安全性。 随着技术的发展和国产化战略的推动，国内电子特气制造商面临着巨大的机遇。通过研发创新，提高产品质量和稳定性，国产电子特气企业不仅可以满足国内市场需求，还有可能进入国际市场，参与全球竞争。这不仅有助于降低国内芯片制造的成本，还能增强整个产业链的竞争力，推动中国电子特气行业的繁荣和发展。