吉时利4200A-SCS参数分析仪：高性能I-V，C-V测量解决方案

"KEITHLEY吉时利4200A-SCS参数分析仪是一款高性能的测试设备，适用于半导体、材料和工艺开发。它具备多种功能模块，如I-V源测量单元、C-V多频率电容单元、脉冲式I-V测量单元、高压脉冲发生器单元以及多通道开关模块等，能够进行精准的电流电压、电容电压和超快速脉冲式I-V特性测量。其配套的Clarius TM软件提供直观的图形用户界面和丰富的测量及分析工具，助力用户深入研究并提升效率。" 4200A-SCS参数分析仪的核心特点在于其高度模块化的设计，能够满足不同的测试需求： 1. I-V源测量单元：支持±210V/100mA或±210V/1A的电源模块，具有100fA的测量分辨率，并可通过选配前端放大器提升至10aA。它可以进行四象限操作，支持2线或4线连接，能进行超低频率（10mHz-10Hz）的电容测量，最大负载电容可达100mF。 2. C-V多频率电容单元：提供AC阻抗测量功能，频率范围从1kHz到10MHz，内置±30V（60V差分）DC偏置源，可扩展至±210V（420V差分）。选配的CVIV多通道开关使得在I-V和C-V测量之间切换变得更加便捷。 3. 脉冲式I-V超快速脉冲测量单元：包含两个独立或同步的高速脉冲I-V源和测量通道，采样率为200MSa/s，5ns的采样间隔，支持±40V(80Vp-p)的电压和±800mA的电流，拥有瞬态波形捕获模式，以及任意波形发生器，可实现多电平脉冲波形生成，10ns的编程分辨率。 4. 高压脉冲发生器单元：两个高速脉冲电压源通道，同样具备±40V(80Vp-p)的电压和±800mA的电流能力，同样具有任意波形发生器功能。 5. I-V/C-V多通道开关模块：简化了在不同测量模式间的切换，无需重新布线或抬起探针，支持±210VDC偏置源。 6. 远程前端放大器/开关模块：自动在不同测量模式间切换，增强4225-PMU的电流灵敏度，减少电缆电容效应。 7. Clarius TM软件：基于GUI的软件平台，提供清晰直观的测量和分析界面，内置专业知识和多种应用测试，有助于用户深入分析和快速得出结果。 4200A-SCS参数分析仪的灵活性体现在可以根据用户的特定需求定制配置，这使其成为半导体研发和工艺工程领域不可或缺的高级测试工具。通过集成化的解决方案，用户可以高效地进行复杂的I-V和C-V测量，同时利用超快速脉冲I-V特性来获取材料和器件的详细动态信息。