"KEITHLEY吉时利4200A-SCS参数分析仪是一款高性能的测试设备,适用于半导体、材料和工艺开发。它具备多种功能模块,如I-V源测量单元、C-V多频率电容单元、脉冲式I-V测量单元、高压脉冲发生器单元以及多通道开关模块等,能够进行精准的电流电压、电容电压和超快速脉冲式I-V特性测量。其配套的Clarius TM软件提供直观的图形用户界面和丰富的测量及分析工具,助力用户深入研究并提升效率。" 4200A-SCS参数分析仪的核心特点在于其高度模块化的设计,能够满足不同的测试需求: 1. I-V源测量单元:支持±210V/100mA或±210V/1A的电源模块,具有100fA的测量分辨率,并可通过选配前端放大器提升至10aA。它可以进行四象限操作,支持2线或4线连接,能进行超低频率(10mHz-10Hz)的电容测量,最大负载电容可达100mF。 2. C-V多频率电容单元:提供AC阻抗测量功能,频率范围从1kHz到10MHz,内置±30V(60V差分)DC偏置源,可扩展至±210V(420V差分)。选配的CVIV多通道开关使得在I-V和C-V测量之间切换变得更加便捷。 3. 脉冲式I-V超快速脉冲测量单元:包含两个独立或同步的高速脉冲I-V源和测量通道,采样率为200MSa/s,5ns的采样间隔,支持±40V(80Vp-p)的电压和±800mA的电流,拥有瞬态波形捕获模式,以及任意波形发生器,可实现多电平脉冲波形生成,10ns的编程分辨率。 4. 高压脉冲发生器单元:两个高速脉冲电压源通道,同样具备±40V(80Vp-p)的电压和±800mA的电流能力,同样具有任意波形发生器功能。 5. I-V/C-V多通道开关模块:简化了在不同测量模式间的切换,无需重新布线或抬起探针,支持±210VDC偏置源。 6. 远程前端放大器/开关模块:自动在不同测量模式间切换,增强4225-PMU的电流灵敏度,减少电缆电容效应。 7. Clarius TM软件:基于GUI的软件平台,提供清晰直观的测量和分析界面,内置专业知识和多种应用测试,有助于用户深入分析和快速得出结果。 4200A-SCS参数分析仪的灵活性体现在可以根据用户的特定需求定制配置,这使其成为半导体研发和工艺工程领域不可或缺的高级测试工具。通过集成化的解决方案,用户可以高效地进行复杂的I-V和C-V测量,同时利用超快速脉冲I-V特性来获取材料和器件的详细动态信息。
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