Silvaco TCAD实战指南：半导体仿真与应用

"Silvaco用户手册中文版，是一本针对半导体工艺和器件仿真的实用教程，由唐龙谷编著。手册详细介绍了Silvaco TCAD软件在半导体行业的应用，包括工艺仿真器ATHENA和器件仿真器ATLAS的使用，以及交互式工具DeckBuild和可视化工具Tonyplot的介绍。此手册旨在为初学者提供入门指导，涵盖二维和三维仿真的基础知识与技巧。" Silvaco是一家全球领先的半导体仿真软件供应商，其TCAD软件套装在半导体器件和集成电路的研发、测试和生产中占据重要地位。随着电子工业的快速发展，半导体领域的竞争日益激烈，快速将产品推向市场成为了关键。计算机仿真技术，特别是基于TCAD的仿真，成为缩短开发周期、降低成本的有效手段。 TCAD（Technology Computer-Aided Design）软件结合了固体物理和半导体物理的理论，通过模拟计算来预测半导体工艺和器件的行为。Silvaco TCAD的ATHENA和ATLAS分别专注于工艺和器件的二维仿真，允许工程师设定工艺参数并分析结果。DeckBuild提供了一个集成环境，便于构建和管理仿真流程，而Tonyplot则用于数据可视化，帮助用户理解仿真输出。 早期的仿真工具如Suprem3功能较为有限，但随着计算机性能的提升和成本的下降，TCAD软件迅速发展。尽管市场上有众多的EDA（电子设计自动化）软件，如EWB、PSPICE等，专门针对TCAD的参考资料相对较少。作者唐龙谷根据自己的学习和实践经验，编写了这本手册，旨在填补这一领域的空白，为初学者提供实践指导和实用技巧。 书中不仅涵盖了基本的仿真操作，还涉及了一些高级特性，如三维仿真的注意事项。这样的教程对于想要进入半导体工艺和器件仿真领域的学习者来说，是一份宝贵的资源，可以帮助他们快速理解和掌握Silvaco TCAD的使用，从而在实际工作中提高效率和准确性。