半导体AMHS模拟优化：OHS内轨台车数决策支持

本文主要探讨了半导体自动化物料搬送系统（AMHS）在实际生产环境中的模拟与优化分析，针对的是晶圆制造工厂内的自动化物料搬运系统，尤其是OverHead Shuttle (OHS)内轨台车数量的最佳化问题。随着产能提升、制造流程变更、设备扩建或移机等影响因素，自动化物料搬运系统的效率调整成为一项挑战，这不仅消耗大量的资源，还可能影响生产效率。 作者李弘暉在逢甲大学工业工程与系统管理研究所硕士论文中，选取了晶圆厂作为研究背景，采用AutoMod模拟软件构建了一个符合实际情况的AMHS模型。通过模拟分析，研究者试图找出在特定生产条件下，如何配置OHS内轨台车的数量，以实现最优的搬运效率。作者强调，经过与实际生产环境数据的比较验证，模拟系统的准确性可以达到约90%，这意味着模拟结果对于工厂的实际决策具有较高的参考价值。 关键点包括模拟技术（如AutoMod）、自动化物料搬运系统的优化策略、以及OHS内部运作的精细化管理。论文的核心目标是提供一个实用的工具，帮助半导体制造企业优化其物料搬运系统，减少因环境变化带来的调整成本，提升整体运营效率。通过这一案例研究，论文希望能为行业内其他厂商的自动化系统规划和改进提供宝贵的经验教训。 本文的重要性在于它结合了理论与实践，将复杂的系统优化问题转化为可以通过模拟解决的具体操作策略，这对于提升半导体制造行业的生产效率和降低成本具有显著的意义。同时，它也展示了如何运用现代信息技术和模拟工具来解决实际工业生产中的难题，具有很高的实用性和参考价值。