光栅测振传感器性能提升：0.025μm分辨率与1.5%动态误差

本文《数字光栅测振传感器性能分析与测试 (2005年)》主要探讨了光栅莫尔条纹技术在振动测量领域的应用，旨在提升光栅测振传感器的性能。作者南忠良、叶声华、陈宁、李建良和李淑清来自天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室和天津科技大学电子信息与自动化学院，他们基于光栅测振传感器的原理性实验，进行了深入的理论分析和实验研究。 论文的核心内容包括以下几个方面： 1. 光栅莫尔条纹技术：莫尔条纹是光栅技术的关键，它利用光的干涉效应形成周期性的明暗条纹，这些条纹的间距变化反映了物体的微小位移。通过将这一技术应用于振动测量，可以实现高精度的位移检测。 2. 理论分析与实验研究：在完成基础实验后，作者进行了详细的理论分析，探讨了光栅传感器的工作原理，以及其在振动测量中的响应特性。这涉及到传感器的静态和动态特性的理解，包括分辨率、频率响应和振幅响应。 3. 高精度测试系统：为了更准确地评估传感器性能，构建了一套高精度的光栅传感器测试系统，该系统能够有效地测量和分析传感器在不同条件下的性能表现。 4. 性能参数：实验结果显示，光栅测振传感器具有优异的分辨力，静态分辨力可达0.025微米，这是衡量传感器灵敏度的重要指标。动态性能方面，动态频率误差小于1.5%，表明传感器对频率变化的捕捉非常准确；而振幅误差小于3.8%，证实了传感器在幅度测量上的稳定性。 5. 关键词与分类：文章关键词包括光栅传感器、莫尔条纹、振动测量和数字信号，反映出研究的主要关注点。中图分类号TH74.1（光学仪器）和TH763.1（传感器）进一步明确了研究的领域，文献标志码A表示文章符合学术标准。 这篇论文提供了关于数字光栅测振传感器在实际应用中的关键性能指标和技术细节，对于理解和优化此类传感器的设计与应用具有重要的参考价值。通过深入的实验与理论结合，作者揭示了数字光栅传感器在提高振动测量精度和可靠性的潜力。