"2020年SentaurusTCAD工艺仿真工具介绍及应用浅谈"

本文介绍了一种半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD。SentaurusTCAD全面继承了Tsuprem4，Medici和ISE-TCAD的特点和优势，可以用来模拟集成器件的工艺制程，器件物理特性和互连线特性等。它提供全面的产品套件，其中包括Sentaurus Workbench, Ligament, Sentaurus Process, Sentaurus Structure Editor, Mesh Noffset3D, Sentaurus Device, Tecplot SV，Inspect, Advanced Calibration等等。Sentaurus Process和Sentaurus Device可以支持的仿真器件类型非常广泛，包括CMOS，功率器件，存储器，图像传感器，太阳能电池，和模拟/射频器件。另外，Sentaurus TCAD还提供互连建模和参数提取工具，为优化芯片性能提供关键的寄生参数信息。 在当今半导体工业中，仿真工具的应用已经变得日益重要。通过仿真，工程师可以在实际制造芯片之前进行模拟测试，提前发现潜在的问题，加快设计和制造周期。而SentaurusTCAD作为一款功能强大的仿真工具，为工程师提供了全面的工艺制程、器件物理特性和互连线特性的模拟能力。不仅如此，它还支持广泛的器件类型，包括CMOS，功率器件，存储器，图像传感器，太阳能电池，和模拟/射频器件，能够应对各种复杂的半导体器件仿真需求。 SentaurusTCAD的产品套件中包括了多个工具，如Sentaurus Workbench, Ligament, Sentaurus Process, Sentaurus Structure Editor, Mesh Noffset3D, Sentaurus Device, Tecplot SV，Inspect, Advanced Calibration等等，这些工具不仅能够满足工程师对于仿真的需求，还提供了全面的参数提取和互连建模功能，为优化芯片性能提供了关键的寄生参数信息，极大地提高了设计过程的准确性和效率。 在今后的半导体工艺和器件仿真领域，SentaurusTCAD无疑将继续扮演着重要的角色。随着半导体工艺的不断发展和复杂化，工程师对于仿真工具的需求也会越来越高，SentaurusTCAD的全面功能和广泛支持将有助于满足这一需求。相信在不久的将来，SentaurusTCAD将会继续推出更多的创新功能，成为半导体工艺和器件仿真领域的领头羊。