绝对检验液体基准平面的Φ300 mm立式干涉仪系统误差标定研究

近年来，干涉检测技术在各个领域得到广泛应用。传统的平面干涉检验通常使用高精度的参考平面对待测件进行测量，但其精度受到参考平面面形精度的限制。当元件精度与参考件接近时，普通的相对检验可能存在很大误差。因此，需要通过绝对检验方法对参考平面误差进行标定，以提高测试精度。这部分误差被称为系统误差。在绝对检验方法中，平晶三面互检法等传统方法对硬件设备要求较高，一般用于中小口径平面的绝对检验。而对于大口径干涉仪，可以采用其他方法进行检测。立式干涉仪可利用液面基准进行绝对检验，对系统误差进行标定。1893年，L.Rayleigh提出了将稳定的液体平面作为基准平面进行光学干涉测量的方法。1998年，L. Powell等使用DC705硅油建立液面基准，补偿了重力变形量，对口径为240mm的光学平面进行了测量。本文旨在介绍基于液体基准平面的Φ300mm立式斐索干涉仪系统误差标定方法。 文章首先介绍了干涉检测技术的发展历程和应用领域，指出传统平面干涉检验存在的精度限制问题，引出了对参考平面系统误差的需求。接着介绍了绝对检验方法中的传统和现代技术，指出不同方法适用于不同口径的平面干涉仪。在介绍了立式干涉仪特点之后，详细阐述了利用液面基准进行绝对检验的原理和方法。以L. Powell等的研究为例，说明了利用硅油建立液面基准的意义和效果。 文中提到了液体基准平面的Φ300mm立式斐索干涉仪系统误差标定的重要性，并从理论和实践两个方面分别进行了综述。在理论分析中，详细介绍了液体基准平面对系统误差的补偿作用，以及在不同条件下的标定原理。在实践部分，描述了具体的系统误差标定步骤和实验操作过程。最后，对实验结果进行了分析和总结，验证了液体基准平面的Φ300mm立式斐索干涉仪系统误差标定方法的有效性和可行性。 综上所述，本文对液体基准平面的Φ300mm立式斐索干涉仪系统误差标定方法进行了详细介绍和总结，具有一定的理论指导价值和实际应用意义。通过该方法，可以提高干涉仪测试精度，拓展了干涉检测技术的应用范围，对相关领域的研究和开发具有一定的参考意义。