白光干涉零光程差四步测量法与精度分析

"白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析 (2004年)" 本文详细探讨了一种用于精确测量绝对长度和微小位移的白光干涉技术，即白光干涉零光程差位置四步测量法。这种方法在现代干涉技术的应用中具有重要意义，尤其在精密测量领域。在该测量过程中，关键步骤是通过以双光束干涉条纹间距的四分之一作为采样间隔来收集数据，然后利用四步测量法来确定干涉条纹的局部调制度。这种方法有助于提高测量精度，尤其是在寻找干涉条纹调制度的最大值位置时，通过运用重心法可以准确地确定零光程差的位置。 文章深入分析了在光电测量系统中，机械精度和光电测量精度如何影响测量结果。作者孙杰、刘铁根、张以误和江俊峰指出，通过优化这两方面的精度，可以显著提升整个系统的测量性能。他们特别提到，即使在光强测量精度只有1%的情况下，该方法也能实现高达10纳米的位置定位精度，这对于微米甚至纳米级别的高精度测量任务至关重要。 关键词：干涉技术、光程差、精度分析，这些标签突出了研究的核心内容。文章分类号：TN29，表明其属于物理学领域的光学研究。文献标志码：A，通常表示这是一篇原创性研究论文，具有较高的学术价值。文章编号：0493-2137(2004)04-0363-05，为该论文在《天津大学学报》2004年第4期的唯一标识，便于读者查阅。 这篇2004年的研究不仅提出了创新的测量方法，还对其实现的精度进行了严谨的分析，对于理解和改进干涉测量技术提供了重要的理论依据。通过这种四步测量法，科研人员和工程师可以更准确地进行微小位移和长度的测量，推动了精密光学仪器和相关领域的科技进步。