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光学制造
李继军
1
杜云刚
1
张丽华
1,2
刘全龙
1
陈建芮
1
1 内蒙古工业大学理学院
,内蒙古
呼和浩特 010051
2 北京师范大学遥感与 GIS 研究中心遥感科学国家重点实验室
,北京
100875
蓸 蔀
LiJijun
1
DuYungang
1
ZhangLihua
1,2
LiuQuanlong
1
ChenJianrui
1
1 SchoolofScience,InnerMongoliaUniversityofTechnology,Hohhot,InnerMongolia
010051,China,
2 StateKeyLaboratoryofRemoteSensingScience,ResearchCenterofRemoteSensing&GIS,
BeijingNormalUniversity,Beijing 100875,China
晌
尚
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摘 要
20 世纪 90 年代以来,随着超大规模集成( VLSI)技术的发展,CMOS 图像传感器显示出强劲的发展势头。简
要介绍了 CMOS 图像传感器的结构及工作原理
,详细比较了
CMOS 图像传感器与 CCD 的性能特点
,讨论
了 CMOS 图像传感器的关键技术问题,并给出了相应的解决途径
,综述了
CMOS 图像传感器的国内外研
究现状,最后对 CMOS 图像传感器的发展趋势进行了展望
。
关键词
光电子学;传感器
;
CMOS 图像传感器
;
CCD;关键技术问题
Abstract
Sincethe1990s,withthedevelopmentofverylargescaleintegration(VLSI),CMOSimagesensors
havebeendevelopedrapidly.ThestructureandworkingprincipleofCMOSimagesensorsare
introduced.TheperformancesbetweenCMOSimagesensorandCCDarecomparedindetail.The
keytechnicalproblemsofCMOSimagesensorsarediscussed,andtherelatedsolvingwaysare
given.ThedevelopmentsituationofCMOSimagesensorsathomeandabroadisreviewed,andthe
developmenttrendsofCMOSimagesensorsareprospected.
Keywords optoelectronics;sensor;CMOSimagesensor;CCD;keytechnicalproblem
中图分类号
O436 doi:10.3788/LOP20094604.0045
1
引言
CMOS 图像传感器的研究始于 20 世纪 60 年代
末,受当时工艺技术的限制
,发
展和应用有限
。
直到 20
世纪 90 年代初,随着大规模集成电路设计技术和信
号处理技术的提高
,
CMOS 图像传感器才日益受到重
视
[1~3]
,成 为固体图像传感器的研发热点。近几年来,
随着集成电路设计技术和工艺水平的长足进步,
CMOS 图像传感器的一些性能指标已接近甚至超过
CCD 图像传感器
[4~6]
。
本文简要介绍了 CMOS 图像传感器的结构及工
作原理,详细比较了 CMOS 图像传感器与 CCD 的性
能特点,讨论了 CMOS 图像传感器的关键技术问题
,
并给出了相应的解决途径
,综 述 了
CMOS 图像传感器
的国内外研究现状
,最后对
CMOS 图像传感器的发展
趋势进行了展望
。
2
结构及工作原理
CMOS 图像传感器的总体结构如图 1 所示
[7~9]
,
一般由像素阵列、行选通逻辑
、列选通逻辑、定时
和控
制电路、在片模拟信号处理器
(
ASP)构成
,高
级的
CMOS 图像传感器还集成有在片模数转换器( ADC)。
行选通逻辑和列选通逻辑可以是移位寄存器
,也
CMOS 图像传感器的研究进展
ResearchProgressonCMOSImageSensors