GDSTK MetaLensLayout快速绘制超表面器件版图指南

MetaLensLayoutbyGDSTK是一款专为超表面器件设计的高效版图绘制工具，它提供了多种阵列排布方式，包括RingArray（矩形超原子环带阵列）、RectArray（矩形超原子方格阵列）、ConcentRing（同心圆环排布）以及RefGDS（引用GDS中的Cell进行阵列排布）和PicturetoGDS（图片转GDS格式）。这款软件的优势在于其快速的处理速度和小巧的内存占用，例如在配备Intel i7-8550u CPU（1.8GHz）和16GB内存的设备上，即使是大型器件如R=950λ的环带阵列排布，仅需18.28秒，而R=1400λ的方格阵列则用时67秒。 RingArray功能的使用步骤详细如下： 1. 打开软件MetaLensLayoutbyGDSTK.exe。 2. 选择RingArray模块并进入相应页面。 3. 提供旋转角度文件（.txt格式），每行对应一个环的旋转角度。 4. 设置GDS版图的保存路径。 5. 输入超原子矩形的宽度和长度（单位nm）。 6. 设定超原子周期（单位nm）。 7. 定义每个子版图的最大环数，以避免内存限制。 8. 点击Run启动绘制，进度条显示运行进度。 RectArray功能与RingArray类似，但使用的是.mat文件存储每个超原子的旋转角度，且允许用户自由设置超出半径位置的值，这使得它可以用于反向设计。操作流程包括： 1. 同样打开软件。 2. 选择RectArray模块。 3. 选择包含旋转角度的.mat文件。 4. 执行其他步骤，如设定版图路径、尺寸等。 在使用时需要注意，超原子尺寸应尽可能为偶数，因为奇数可能导致1nm的精度误差。此外，通过合理设置ringNumMax，可以有效地管理大器件的绘制过程，避免因内存限制而导致软件卡死。MetaLensLayoutbyGDSTK提供了一个强大且用户友好的工具，帮助工程师们高效地设计和排布超表面器件的版图。