SQM-160膜厚监测仪中文操作指南

"SQM160膜厚仪中文使用说明书" SQM-160是一款先进的速率/膜厚监测仪器，专为那些在英文理解上有困难的用户提供服务。这款设备主要用于精确测量各种薄膜涂层的厚度，适用于多种工业应用，如半导体制造、光学镀膜、磁记录等行业。在使用之前，用户需要详细阅读并理解用户手册，以确保安全有效地使用该设备。 安全信息是使用SQM-160的重要部分。在安装、操作或维修设备前，必须遵循手册中的安全指南，避免可能导致人身伤害或死亡的状况。特别是，应避免安装非原厂部件或进行未经授权的改动，以免影响设备的安全特性。此外，设备内部可能存在危险电压，使用者需注意接地和等电位接地，确保设备安全运行。 该仪器提供两年的质保期，但仅限于材料和工艺缺陷。如果由于误用或擅自改动导致的损坏，将不在保修范围内。INFICON不提供任何形式的隐含保证，并对违反有限保修条款的间接损失或损害不承担责任。 在操作SQM-160时，用户需要熟悉一系列功能，包括： 1. 安装：手册详细指导了如何正确安装仪器，确保所有系统连接正确无误。 2. 面板和后板：介绍了仪器的前面板和后面板上的各个控制和接口，包括按键、显示器和输入/输出端口。 3. 系统连接：涵盖了与外部设备（如计算机或控制器）的连接步骤。 4. 膜系设置：用户需要根据实际应用设定合适的膜系参数，以确保测量精度。 5. 沉积膜系：详细说明了如何设置和管理不同的沉积膜系。 6. 菜单选择：包括对主菜单、膜系菜单和系统菜单的导航和操作。 7. 传感器选择：用户可以选择合适的传感器类型，以适应不同的测量需求。 8. 传感器频率和系数：调整传感器的工作频率和校准系数以优化性能。 9. 显示单元：解释了如何解读和调整显示的测量数据。 10. 晶体寿命：提供了关于传感器晶体使用寿命的信息，以及如何监控和维护。 11. 膜厚置零：介绍如何在测量前将膜厚读数归零。 12. 挡光器操作：说明了如何使用挡光器来减少干扰，提高测量准确性。 13. 双传感器：对于需要同时测量两种不同薄膜的场合，提供了双传感器的使用指南。 14. 速率取样和定时设点：用户可以设置采样速率和定时测量点，以获取连续或间隔的数据。 15. 膜厚设点：允许用户定义特定的膜厚阈值，触发警报或操作。 16. 模拟模式和继电器运行：提供模拟信号输出和控制继电器的功能，便于集成到其他自动化系统。 17. 模拟输出配置：用户可以根据需要定制模拟输出的范围和分辨率。 18. 故障查找：当设备出现异常时，提供了故障排查和解决的步骤。 此外，手册还包含有关选配件（如机架安装）、维护指南（如清洗方法）以及技术规格、I/O连接件、通信协议和符合的标准等内容。通过全面了解和遵循这些信息，用户能够充分利用SQM-160膜厚仪，实现高效、准确的薄膜厚度测量。