电子断层扫描技术在材料科学的新进展:基于TEM与STEM

需积分: 16 3 下载量 114 浏览量 更新于2024-07-14 收藏 2.64MB PDF 举报
"这篇文章是关于2014年在材料科学领域中,基于透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)的电子断层扫描技术(Electron Tomography, ET)的最新进展的综述。文章详细探讨了多种不同的电子断层扫描技术,并介绍了优化的倾转系列方法以及先进的重构算法,如离散迭代重构技术和压缩传感算法。" 正文: 电子断层扫描技术是一种非侵入性的三维成像方法,它在材料科学中发挥着至关重要的作用,能够提供纳米尺度的结构和成分信息。该技术的发展极大地推进了对材料微观结构的理解,尤其是在金属、半导体、纳米材料和复合材料等领域。 基于透射电子显微镜的电子断层扫描技术包括多种方法。明场断层扫描(BF-TEM tomography)利用未被样品散射的电子束来重建图像,适合观察大范围的结构;暗场断层扫描(DF-TEM tomography)则通过散射电子获取信息,对局部细节更敏感。弱束暗场断层扫描(WBDF-TEM tomography)则针对特定晶面进行成像,适用于研究晶体缺陷。环形暗场断层扫描(ADF-TEM tomography)利用近表面的散射电子,可以揭示原子级别的信息。而能量过滤断层扫描(EFTEM tomography)则是通过选择特定能量范围的电子,对材料的化学成分进行成像。 扫描透射电子显微镜的电子断层扫描技术同样多样。高角环形暗场断层扫描(HAADF-STEM tomography)由于其对原子壳层电子的高灵敏度,特别适合分析原子排列。环形暗场断层扫描(ADF-STEM tomography)与BF-TEM tomography类似,但具有更高的分辨率。非共格明场断层扫描(IBF-STEM tomography)则用于观察无序或非晶材料,而电子能量损失谱断层扫描(EELS tomography)和X射线能谱断层扫描(X-ray spectromicroscopy tomography)则提供了元素分布的三维信息。 为了提高数据采集效率和图像质量,文章还提到了优化的倾转系列方法,如双轴倾转、同轴倾转、锥形倾转和等斜率倾转。这些方法允许以不同角度获取样品的二维切片,从而构建三维模型。 在数据处理方面,离散迭代重构技术(Discrete Iterative Reconstruction Technique, DIRT)是一种常用的重构算法,通过迭代优化实现图像重建。压缩传感算法(Compressive Sensing, CS)则引入了信号处理的新理念,能够在较少的数据采样下得到高质量的三维图像,降低了实验时间和资源的需求。 这篇论文详尽地总结了当时电子断层扫描技术在材料科学中的应用,涵盖了各种成像方法、优化技术以及先进的数据处理策略,为研究人员提供了宝贵的参考,推动了材料微观结构分析的进一步发展。