双计算全息图实现凹非球面精密检测

本文主要探讨了在光学测量领域中，如何利用双计算全息图进行凹非球面的高精度检测。双计算全息图是一种创新的设计，它由两个关键部分组成：主全息和对准全息。主全息负责检测非球面的形状，而对准全息则用于精确定位主全息的精确位置，从而实现对凹面的精确测量。 设计的双计算全息图工作原理是通过记录物体的相位信息，形成两个相互独立但又关联的全息图像。主全息图通过记录凹非球面的相位变化，可以反映其表面的形状特征。对准全息则作为一个辅助手段，确保主全息图的准确重建，避免由于环境因素或制造误差引起的定位偏差。 文章提供了一个具体的应用实例，设计了一种针对Ф140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图，实验结果显示，检测的均方根(RMS)误差仅为0.062λ，这是非常高的精度。通过对对准全息的误差分析，作者推导出了主全息的条纹位置畸变误差，最终综合误差被计算为0.06λ。 为了验证这种检测方法的可靠性，作者将实验结果与平面镜自准直检测的结果进行了对比，发现两者吻合良好，表明双计算全息图检测法的精度得到了有效验证。关键词包括光学测量、凹非球面、计算全息图、零位检验（可能是指对准全息的校准过程）、以及自准直检验，这些都是本文研究的核心技术与方法。 总结来说，这篇文章不仅阐述了双计算全息图的设计原理和应用，还通过实际案例展示了其在光学测量领域的实用性和准确性，为凹非球面的精密检测提供了新的解决方案。这对于光学工程、微电子制造以及精密仪器等领域具有重要意义。