创新 EUV 光刻相机聚光镜设计：锥面反射与飞眼集成器对比

本文主要探讨了极紫外(EUV)光刻投影相机中的照明光学设计，特别是针对环形场EUV光刻机的新型光源系统。焦点在于解决极紫外光刻技术中对照明光学系统提出的严苛需求，如均匀照明、透镜系统的透镜中心性以及适应极紫外光源的尺寸和发散特性。照明器作为光刻系统的关键组件，必须提供稳定且高效的光线分布。 文章介绍了一种创新的设计概念，即使用一种名为“涟漪板”的微扰平面镜。这种镜子采用斜入射方式，光线沿着镜面的波动进行反射，形成一个锥形光束，最终聚焦在环形场的弧线上，实现了准静态照明。通过这种方式，任何环形场上的一个像素都能接收到来自涟漪板上不同位置的光，从而实现大面积的均匀照射，无需过多的光学元件，减轻了系统的复杂性和制造挑战。 文中对比了两种不同的照明器设计方案：一种是基于圆锥反射原理，利用单一光学元件的复杂结构来实现照明；另一种则是采用了类似苍蝇眼集成器的设计，通过众多小型反射单元的组合，提供更为高效和灵活的光线分布。这两种方案各有优劣，例如，锥形反射设计可能能更好地控制光束质量，而集成器方案则可能简化了元件数量，但制造精度要求更高。 作者列举了马丁·沃尔夫冈·辛格等来自卡尔蔡司和荷兰TNO的研究团队，他们在文中详细展示了针对0.25NA（数值孔径）的EUV投影相机设计的光线追踪结果，以此证明新设计的有效性和实用性。总结来说，这篇论文为极紫外光刻领域内的照明光学设计提供了创新思路和实用解决方案，对于提升EUV光刻技术的性能具有重要意义。