离轴显微干涉术：单幅图像获取相位的新方法

"基于离轴显微干涉术的单幅干涉图相位求解技术是一种创新的微结构表面形貌测量方法，它利用优化的马赫-曾德尔干涉仪，结合倾斜参考波和CCD相机记录的离轴显微干涉图，通过傅里叶变换处理来获取相位信息。该技术的独特之处在于其高载频特性，使得仅需单幅干涉图就能准确地得出相位，提高了测量的稳定性和效率。在实际应用中，这种方法被验证可以有效地检测微台阶和微孔阵列的形貌，并且与轮廓仪的测试结果一致。相比之下，传统的显微干涉术由于载频较低，使用单幅干涉图无法获得正确的相位，这进一步突显了离轴显微干涉术的优势。" 离轴显微干涉术是光学测量领域的一个重要进步，它解决了传统显微干涉技术的一些限制。在这个技术中，离轴设置的参考波具有倾斜特性，增加了干涉图的载频，这样就可以在傅里叶面上进行频谱滤波，从而解出相位信息。这种高载频使得测量过程对振动不敏感，大大提高了测量的抗干扰能力。此外，通过使用CCD相机记录干涉图，不仅简化了数据采集过程，还加快了整个测量的速度。 在实验验证部分，研究者使用标准微台阶和微孔阵列作为样本，应用离轴显微干涉术进行形貌测量，并将结果与轮廓仪的测量结果进行了比较，两者的一致性证明了新方法的精确性。同时，通过对比Mirau干涉显微镜的测试结果，进一步证实了离轴显微干涉术在相位恢复方面的优越性，尤其是在处理单幅干涉图时，能够避免传统方法中的相位解缠问题。 "基于离轴显微干涉术的单幅干涉图相位求解"是一种高效、防振的微结构表面形貌测量技术，对于提高精密测量的精度和速度具有重要意义，特别是在微纳米制造、半导体器件检测等领域有着广阔的应用前景。