脊形LiNbO3基集成电光M-Z调制器：高带宽优势的研究

本文主要探讨了利用X切LiNbO3基片技术开发新型脊形结构集成电光Mach-Zehnder (M-Z) 波导调制器的设计与研制。X切LiNbO3是一种常用的非线性光学材料，因其优良的电光效应而被广泛应用于光通信领域中的调制器设计。 脊形结构集成电光M-Z型调制器是一种创新设计，它通过在基片上构建具有脊状特征的光路结构，相较于传统的平面结构调制器，能够显著提升调制带宽。这种结构的优势在于可以增强光信号的耦合效率，从而实现更快的光信号处理速度，对于高速光通信系统具有重要意义。 在实际研制过程中，关键技术包括对X切LiNbO3基片的湿腐蚀刻槽技术以及制作大厚度电极的技术。湿腐蚀刻槽技术是实现精确微纳结构的关键步骤，它要求对材料的表面进行精细控制，以便于形成理想的脊形结构。大厚度电极制作技术则涉及材料的沉积和加工，以确保电极性能稳定且能承受高电压操作。 实验结果显示，脊形结构调制器表现出更高的带宽响应能力，这对于光通信系统中的数据传输速率提升、信号处理效率改善以及系统整体性能优化都具有积极影响。这种技术的进步不仅有助于提高通信系统的整体性能，也有助于推动光通信技术的未来发展。 本文的关键词包括脊形结构、电光调制器、X切LiNbO3、M-Z型干涉以及相关的制造工艺和技术细节。作者陈福深和李其聪来自电子科技大学光纤通信国家重点实验室，他们的研究成果对于推动电光集成器件的发展以及相关领域的学术交流具有重要价值。 这篇论文提供了一种新颖的调制器设计方案，展示了X切LiNbO3在高性能光通信设备中的应用潜力，对于从事光通信和集成光电器件研究的工程师和研究人员来说，这是一篇极具参考价值的学术论文。