PEGASUS：专业低温等离子体与稀薄气体模拟软件

"PEGASUS是一款专业低温等离子体与稀薄气体仿真的工程软件，由日本PEGASUS软件公司开发，适用于广泛的科学研究和工业应用。上海锦科信息科技有限公司是该软件在中国的独家经销商。这款软件专注于直接蒙特卡洛模拟和低气压放电等离子体模拟，在微电子、真空技术、薄膜技术、微细加工等多个领域有广泛应用。其用户包括多家全球知名的电子、半导体和材料公司以及科研机构。PEGASUS的特点在于其多功能模块，可以模拟复杂的物理和化学过程，覆盖从宏观设备到微观结构的多层次模拟，并支持基于PIC和流体混合模式的放电模拟。" 详细说明： 1. **低温等离子体与稀薄气体仿真**：低温等离子体在许多高科技领域，如微电子制造、新材料开发、能源研究等中扮演着重要角色。PEGASUS软件通过精确的数值模拟，帮助研究人员理解等离子体在稀薄气体环境中的行为，从而优化工艺过程。 2. **直接蒙特卡洛模拟**：这是一种统计方法，用于模拟粒子在气体或等离子体中的运动轨迹，考虑了碰撞、扩散和能量转移等现象。PEGASUS使用这种方法来预测气体流动、粒子输运和能量分布，这对于理解复杂系统的行为至关重要。 3. **低气压放电等离子体模拟**：在微电子设备制造中，低气压放电等离子体常用于刻蚀、沉积和溅射等工艺。PEGASUS能模拟这些放电过程，有助于优化工艺参数，提高设备性能。 4. **多功能模块**：PEGASUS由多个独立的计算模块组成，每个模块针对特定的物理过程或应用。用户可以根据需求组合模块，以模拟从设备整体行为到微小局部特征的完整工艺流程。 5. **广泛应用领域**：从电子/半导体制造到新能源开发，再到汽车和航空航天工业，PEGASUS的模拟能力覆盖了多个行业。特别是在微电子中的刻蚀、沉积和溅射设备设计，以及MEMS（微机电系统）的工艺过程优化方面，它提供了强大的工具。 6. **行业合作与用户**：PEGASUS已被众多国际知名公司和研究机构采用，包括ULVAC、Tokyo Electron、Hitachi、Samsung Mobile Display等，表明该软件在业界得到了广泛认可。 7. **中国独家经销商**：上海锦科信息科技有限公司作为PEGASUS在中国的独家经销商，为中国用户提供本地化的技术支持和服务，促进了该软件在中国的推广和应用。 PEGASUS软件是等离子体技术领域的一个强大工具，它通过先进的模拟技术，解决了从微观到宏观层面的各种问题，对于推动科技进步和工业创新具有重要意义。