第 28卷 第 1期
2015年 1月
传 感 技 术 学 报
CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS
Vo1.28 No.1
Jan.2015
A Low M ism atch Error and High Dynam ic Range CM OS Sm art
Temperature Sensor Based on Operational M odes Switching
SHAN Wentao,ZHANG Peiyong ,FENG Chenhui
(Institute of VLSI Design,Zhefiang University,Hangzhou 310027,China)
Abstract:A new circuit structure which can switch between two operational modes iS proposed to reduce the mis—
match errors of CMOS smart temperature sensors and ensure a high dynamic range of the output.The new structure
can reduce more than 66% of the mismatch error in contrast to traditional circuit by theoretical analysis.The simula
tion between 一55 ℃ and 125 oC based Oil 0.18 m process shows that a dynamic range of about 90% which iS lar—
ger than the output of Pertijs’structure can be acquired using this new structure.This conclusion is verified by chip
testing result between 一10 cC and 100 ℃
Key words:temperature sensor;mismatch error;dynamic range;CM0S process
EEACC:7230;7320R doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2015.Ol-025
基 于运 行模式 切换 的低不匹 配误 差高动 态
范 围 CMOS智 能温度 传感器 术
单文焘 ,张培 勇 ,冯忱 晖
(浙江大学超大规模集成 电路研究所 ,杭州 310027)
摘 要 :提出了一种新的电路结构,通过两种运行模式 的切换 ,可以在降低 CMOS智 能温度传感 器不匹配误差的同时,保 证
输 出有尽可能高的动态范 围。理论分析得 出,相对 于传统结构 ,新结构 的不匹配误差 能减小 66%以上 。0.18 Ixrn T艺环境 下
的仿真结果表明 ,在一55 oC~125℃的温度范围内 ,输 出能达到 90%左右 的动态范 围,和 Pertijs提 的改进结构相 比,有较大幅
度的提高。芯片实测结果在一10℃ ~100℃的温度范围内证实了这个结论 。
关键 词 :温度传感器 ;不匹配误差 ;动态范围;CMOS工艺
中图分 类号 :TP212.1 文 献标识 码 :A 文章编 号 :1004-1699(2015)01-0142—06
随着制造工艺的快速发展 ,如 今微处理器 的 电
路密度越来越大,工作频率越来越高 ,随之而来的则
是散热的困难 ,以及温度的不均匀分布。另一方面 ,
随着工艺的进步不 匹配误 差会变得越来越 复 杂 j,
并 且会 随 着 工 艺 尺 寸 的减 小 迅 速 增 大 J。这 也 会
加 剧芯 片温度 的不 均匀分 布 。因此 就需要 多个 片上
温度传感器来对芯片温度进行监 控 ,以便在运行温
度过高时触 发相应 操作 保护 芯片。Intel、Samsung
等公司所生产的微处理器中都会包含多个温度传感
器_4 J。近年来虽然对 PC的需求逐渐放缓 ,但是随
着智能手机等移动互联终 端 的快 速发展 ,必 然会 对
温度传感器产生新一轮的强劲需求 。
智 能 温 度 传 感 器 是 将 温 度 传 感 器 ,ADC
(Analog—to—Digital Converter),总线接 口集成 在一块芯
项 目来源 :国家 自然科学基金项 目(61204111,61474098)
收稿 日期 :2014-08-01 修 改 日期 :2014—11—1O
片上。相对 于铂 电阻和热 电偶 等传统温度传感器,智
能温度传感 器 的主要 优势有 通信 方便 ,兼容标 准
CMOS工艺,可以通过集 成 电路大 量复 制 的特点 来降
低成本 ,信号采集和处理的本地化使得测量抗干扰能
力更 强。温 度传 感器 的应用领 域非 常广 泛 ,用 于工
业 ,消费电子等领域的智能温度传感器已经非 常成
熟 ,特别 是在微处理器 的温度监控领 域 已经有着非常
广泛的应用。近年来随着无线传感器 网络等概念的
提出,出现了一些和射频识别相结合的研究 。
到 目前为止,智 能 温度传感器的设计 已经 比较
成熟 ,文献 [9]的精度在军用级温度范 围(一50℃ ~
120 oC)之 内能达到±0.1℃。文献[10]在 22 nm工
艺下设计了面积仅为 0.006 mm 的温度传感器。
随着工艺的进步 ,对智能温度传感器的设计也