压力传感器的温漂补偿与非线性修正技术研究

"这篇硕士学位论文主要探讨了压力传感器在实际应用中遇到的热零点漂移和非线性问题，并提出了相应的补偿与修正方法。作者赵彦晓在导师孙以材的指导下，针对压阻型扩散硅压力传感器进行了深入研究。" 在压力传感器领域，尤其是在压阻型扩散硅传感器中，热零点漂移是一个关键问题。这种漂移是由传感器内部材料的压阻系数随温度变化引起的，可能导致测量结果的不准确。论文中提到，为了减少热零点漂移，可以通过确保所有力敏电阻的电阻值和温度系数的相等性来实现。此外，论文采用曲线拟合方法进行零点校正，这种方法既可以降低成本，又能提高校正精度。 非线性问题是另一个挑战，因为压阻系数是温度的函数，这直接影响到传感器的压力灵敏度。论文探讨了几种补偿方法，如二极管补偿法、恒流源补偿法和热敏电阻补偿法。作者选择利用曲线拟合技术，结合温度信息，构建了带有温度信息的压力解析表达式，这样不仅可以简化硬件电路，还能实现传感器的自校正和自补偿功能。 论文还涉及了压力传感器的硬件电路设计和软件编程，利用单片机技术实现测量，这种方法具有成本低、应用广泛的优势。尽管如此，由于半导体本身的特性，测量结果仍可能存在一定的误差。关键词包括零点补偿、灵敏度温漂、曲线拟合、信息融合和单片机技术，这些关键词突出了研究的核心内容和技术手段。 这篇论文为压力传感器的优化提供了理论依据和技术方案，对于理解和改善传感器性能，尤其是应对温度变化导致的误差，具有重要的实践意义。