Ge2Sb2Te5薄膜相变研究及对光存储性能的影响

需积分: 5 0 下载量 58 浏览量 更新于2024-08-11 收藏 918KB PDF 举报
"本文详细探讨了Ge2Sb2Te5薄膜的相变行为以及这些相变如何影响光存储特性。采用射频磁控溅射技术在石英玻璃基片上制备了非晶态的Ge2Sb2Te5薄膜,并通过退火处理实现了其从非晶态到面心立方(fcc)结构以及再到密排六方(hex)相的转变。X射线衍射分析揭示了薄膜的结构变化,而差热分析则提供了相变活化能的数据。此外,研究还关注了薄膜的反射率和激光对非晶态薄膜的烧蚀效应,强调了激光能量密度对光存储性能的影响。" Ge2Sb2Te5是一种重要的相变材料,广泛用于光存储技术中,如可擦写光盘。该材料的独特之处在于其能够经历从非晶态到结晶态的可逆转变,这一特性使其成为数据存储的理想选择。在本文中,研究人员利用射频磁控溅射法制备了Ge2Sb2Te5薄膜,这是一种在室温下呈非晶态的薄膜。通过170℃的真空退火,薄膜转化为晶粒尺寸约为17纳米的面心立方结构。进一步的250℃退火处理导致了晶粒尺寸约为40纳米的密排六方相的形成。 热力学性能的研究是理解相变过程的关键。通过差热分析,研究人员确定了从非晶相到fcc相的相变活化能为(2.03±0.15)eV,而从fcc相到hex相的转变活化能为(1.58±0.24)eV。这些数值对于优化材料的相变温度和速度至关重要。 反射率测量结果显示,面心相与非晶相之间的反射率对比度随着波长的变化在15%到30%之间,而六方相与非晶相的反射率对比度在30%到40%。这种反射率差异是光存储应用中的一个重要指标,因为它直接影响到数据读取的清晰度和信噪比。 此外,通过不同脉冲宽度的激光照射非晶态薄膜,发现激光的能量密度对记录效果有显著影响。在5mW、50ns的脉冲激光条件下,Ge2Sb2Te5薄膜表现出最佳的光存储性能。这表明在设计光存储系统时,精确控制激光参数对于提高存储质量和读取效率至关重要。 该研究深入探讨了Ge2Sb2Te5薄膜的相变特性,为优化光存储设备的设计提供了理论依据。通过理解这些基本的物理过程,可以开发出更高性能、更耐用的相变光存储技术,满足不断增长的高密度、高速率存储需求。