书书书
激光与光电子学进展
48
,
050401
(
2011
)
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狆
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犵
狉犲狊狊
○
C
2011
《中国激光》杂志社
犆犕犗犛
有源像素传感器像素级噪声的分析与抑制
邓若汉
1
,
2
严
奕
1
,
2
余金金
1
,
2
陈永平
1
1
中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海
200083
2
中国科学院研究生院,北京
( )
100049
摘要
像素级的噪声是
CMOS
图像传感器的主要噪声源之 一。针对
CMOS
有源 像 素传感 器
3T
结 构 像 素 级 的 噪
声问题,分析了
3
种抑制像素级噪声的方法。分析结果表明,复位晶体管的软复位 噪 声要小 于 硬复位 噪 声的
槡
2
倍,
PMOS
管的
1
/
犳
噪声低于
NMOS
管的
1
/
犳
噪声,同时
1
/
犳
噪声 会 随 着 栅 面 积 的 减 小 而 增 大。通过 对像 素的 噪声
分析,完成了
3
种像素级的集成电路的设计仿真,并采用了
0.5
μ
m
标准
CMOS
工艺 进 行流片 制 作。 测 试表明,噪
声的相对变化与分析结果吻合。
关键词
传感器;低噪声像素设计;
CMOS
有源像素传感器;
3T
结构
中图分类号
TN492
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犔犗犘48.050401
犃狀犪犾
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μ
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;
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狆
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;
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040.0040
;
100.2960
收稿日期:
20100823
;收到修改稿日期:
20101117
作者简介:邓若汉(
1985
—),男,博士研究生,主要从事低噪声
CMOS
探测器方面的研究。
Email
:
den
g
ruohan
@
126.com
导师简介:陈永平(
1963
—),男,博士,研究员,主要从事
CMOS
探测器方面的研究。
Email
:
chen
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yp
@
mail.sit
p
.ac.cn
1
引
言
在可见光波段,图像传感器主 要有
CMOS
图像传 感 器(
CIS
)和
CCD
两种。
CIS
采用成 熟 的
CMOS
工
艺,可以在单个芯片上集成光电探测器和读出、放大、
A
/
D
转换等电路,具有低成本、低功耗、高帧频、高速随
机读取等优点
[
1
]
。
CIS
由于其自身的优势已经在许多领域取代了传统的
CCD
。但相 比
CCD
,
CIS
的噪 声偏
大
,其中尤其是读出噪声
[
2
]
。而作为
CIS
读出电路的第一级电路 像素 级读 出电 路对 整个 读出 电路 的噪
声贡献最大
[
3
]
。因此在
CIS
探测应用,尤其在微弱信号的探测应用中,对像素级电路噪声进行研究分析具有
实用意义。
在对像素级电路噪声的研究分析工作方面,
Xin
y
an
g
Wan
g
等
[
4
]
介绍了一种采用钉扎光电二极管
4T
像
素结构
CMOS
有源像素传感器(
APS
),这种传感 器用 埋沟 的跟 随器 作为 它的 像素 级放 大器,极 大地 降低 了
0504011