光谱共焦传感器提升石英摆片厚度精确测量

本篇论文主要探讨了基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量技术，由刘雪原和钟志两位作者共同完成，其中刘雪原作为在读硕士研究生专注于现代通信技术，而钟志则作为哈尔滨工程大学信通学院的副教授，专长于光电检测、光电仪器以及光电信号和通信信号信息处理领域。他们针对石英摆片在加工生产中的重要性，意识到精确测量其厚度能有效提升产品质量控制，减少缺陷产品的出现，从而提高生产合格率并节省成本。 石英摆片厚度测量是制造过程中不可或缺的一环，因为它能提供关键的工艺参数信息。传统的接触式测量方法可能存在磨损或损伤摆片的风险，因此，本文提出了采用非接触式的光谱共焦传感器来实现这一目标。光谱共焦传感器利用光学原理，能够在不接触被测物体的情况下，获取其表面信息，这在精度和可靠性上具有显著优势。 文章的核心内容聚焦在对这种方法的理论设计与实际应用上，详细分析了光谱共焦传感器的工作原理，如何通过不同波长的光束聚焦在石英摆片表面，形成深度信息，进而计算出厚度。论文还讨论了测量不确定性的评估，包括系统误差、随机误差等，通过实验证明了这种方法具有很高的测量精度和良好的重复性，这对于精密的工业生产过程来说是非常重要的。 关键词“光学测量”强调了本文研究的技术基础，而“光谱共焦”则是具体的技术手段，“石英摆片”则是应用对象，“厚度测量”则是研究的核心内容。此外，论文还引用了中图分类号TN247，表明这属于材料科学与工程领域的光学测量技术。 这篇论文为提高石英摆片制造业的生产效率和质量提供了创新的解决方案，对于光学测量技术在工业应用中的进一步发展具有重要意义。通过阅读这篇论文，读者可以深入理解非接触式光谱共焦测量技术的优势，并将其应用于类似石英摆片这样对精度要求高的制造场景。