红外上转换材料测试系统中高效干涉截止滤光片的研制与性能优化

本文主要探讨了红外上转换材料测试系统中截止滤光片的关键技术研发。研究团队针对红外上转换实验系统的特殊需求，选择了高折射率的二氧化钛(Ta2O5)和低折射率的二氧化硅(SiO2)作为膜层材料。他们利用椭偏仪对这两种材料的色散特性进行了精确测量，并将这些数据输入到膜系设计软件中，进行优化设计。 电子枪蒸镀是一种物理沉积技术，被用来制备滤光片的膜层。在此过程中，霍尔离子源作为一种辅助手段，被用来提升膜料的折射率，从而更好地控制光的反射和传输。通过精细调整工艺参数，如温度、压力和沉积速率等，研究人员能够确保膜层的均匀性和厚度控制，这对于减小误差和提高滤光性能至关重要。 文章指出，团队着重解决了一个关键问题，即如何在监控波长处有效地减少误差累积。通过改进光学监控方法，他们成功地实现了这一目标，这确保了滤光片在设计波长，如808、980和1064纳米处具有极低的透射率，小于0.01%。这意味着这些特定波长的红外光被有效阻挡，避免干扰红外上转换材料的测试。 在可见光波段，滤光片表现出优异的透过性，平均透射率超过90%，满足了实验系统对滤光性能的高要求。这项研究通过精心设计和优化的物理沉积技术，成功地在石英基底上制备出了一款高性能的干涉截止滤光片，对于红外上转换材料的测试系统而言，这是至关重要的组成部分。 关键词：薄膜；干涉截止滤光片；电子枪蒸镀；霍尔离子源；红外上转换。这项研究成果不仅提升了红外上转换材料测试系统的性能，也为薄膜科学和光电子技术的发展提供了新的设计思路和技术支持。