单波长椭偏仪的样品校准法：理论与实践应用

本文主要探讨了样品校准法在单波长椭偏仪中的应用，这是一种创新的校准技术，对于薄膜测量领域具有重要意义。椭偏仪作为薄膜测量的重要工具，其精度直接影响到对薄膜性质的准确评估。文章的核心思想是利用已知样品的折射率（n）、吸收系数（k）和厚度（d）信息，通过测量光强变化的傅里叶系数，结合最小二乘法原理来反求出椭偏系统的各项校准参数，如起偏器方位角（P）、检偏器方位角（A）、波片起始旋转角（Cs）、波片位相延迟（δ）以及系统入射角（θ0）。 该方法的优点在于操作简便且成本效益高。作者进行了模拟分析，针对2至6个不同样品进行了校准实践，验证了该方法的有效性。通过模拟实验，研究人员能够精确地控制和调整校准参数，从而优化仪器性能。实际测量中，校准后的测量效果得到了充分的验证，且误差分析显示最大误差仅为0.26纳米，这表明该方法具有很高的精度。 文中详细介绍了校准过程和步骤，包括数据采集、模型建立、参数估计以及误差分析，这些都是确保测量结果可靠性的关键环节。同时，它也强调了模拟和实验结合的重要性，模拟部分帮助理解和优化理论模型，而实验部分则提供了实际操作中的反馈，两者相辅相成，提高了校准的效率和准确性。 此外，文章还讨论了薄膜测量领域中的关键术语，如“薄膜”、“椭偏校准”、“最小二乘法”、“校准参数”等，这些都是理解本文核心概念的基础。这项工作为提高单波长椭偏仪的校准质量和效率提供了一种新的实用策略，对于薄膜科学研究和技术应用具有重要的实际价值。