Renishaw非接触光栅测量系统:高精度与坚固性的结合

1 下载量 20 浏览量 更新于2024-07-14 收藏 2.99MB PDF 举报
Renishaw 非接触光栅测量系统是一种先进的测量技术,广泛应用于工业自动化领域,尤其适合需要高精度和高可靠性的场合。该系统的核心在于其非接触式的光学设计,这不仅确保了零机械滞后,实现了精确测量,还具有出色的抗污染能力,能够抵御灰尘、轻微油渍和划痕的影响,保证信号的完整性和测量的稳定性。 Renishaw 提供多种类型的光栅产品,包括 SiGNUM™ RELM 高精度直线光栅,它们具有坚固的20µm栅距钢栅尺,能实现±1µm的高精度和5nm的分辨率,周期误差控制在±30nm以内。此外,它们还配备了双向可重复的IN-TRAC™光学参考零位,提高了测量的准确性。 除了直线光栅,Renishaw 还有 RG220µm 和 RG440µm 栅距的直线光栅,以及RGS钢带光栅,分辨率可达10nm,精度为±3µm/m。对于角度测量,Renishaw 的SiGNUM™ RESM、REXM和RESR圆光栅提供了多种外径选择,角度分辨率低至0.004秒,精度高达±0.5秒,同样具备IN-TRAC™光学零位功能。 磁旋转编码器是Renishaw产品系列中的另一重要组成部分,它们的分辨率可达到13位,即每转8192个脉冲,支持绝对式或增量式输出,并且防护等级达到了IP68,意味着它们可以在严苛的环境中保持良好的性能。 激光尺解决方案是Renishaw提供的高精度测量工具,分辨率高达38.6皮米,安装简便,支持“即装即用”,并允许用户根据需求进行定制配置。 为了配合这些测量系统,Renishaw 还提供了一系列附件,包括细分盒/接口和数显表(DRO),光栅尺安装器,以及专为特定应用设计的安装选件和用户定制解决方案。 Renishaw 光栅系统广泛应用于各种精密机械设备,如右图所示的Rotary Precision Instruments-RPI制造的转台,就采用了REXM圆光栅和DSI接口,实现了±1秒的高精度。 总而言之,Renishaw的非接触光栅测量系统以其高精度、高稳定性和耐污染性,在工业自动化领域扮演着至关重要的角色,为各种精密测量任务提供了可靠的解决方案。