全球电子制造设备通信与控制通用模型(GEM)标准
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更新于2024-07-19
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"(GEM) E030-00-1103.pdf"
这篇文档涉及的是SECS/GEM( Semiconductor Equipment Communication Standard / Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment )标准,这是一个由SEMIE( Semiconductor Equipment and Materials International )制定的通信协议,用于半导体生产设备与工厂自动化系统的交互。该标准首次发布于1992年,并在2003年进行了更新。
1. **修订历史**:
文档中提到了修订历史,暗示了GEM标准随着时间的推移不断演进,以适应技术的发展和行业需求的变化。2003年的版本是在1992年最初发布的基础上进行的更新,之前在2003年7月也有所发布。
2. **范围**:
GEM标准的范围旨在规范制造设备的通信和控制。图1.1 (GEM Scope) 显示了这一标准的应用领域,它涵盖了从设备到工厂信息系统的整个通讯链路。
3. **目的**:
GEM的主要意图是提供一个通用模型,使不同制造商的设备能与生产控制系统无缝对接,实现数据交换和设备控制,从而提高生产效率和灵活性。
4. **概述**:
图1.2 (GEM Components) 提供了GEM体系结构的概述,包括各个组成部分及其相互关系,如设备组件、通信状态和控制状态等。
5. **适用文档**:
标准中可能列出了其他相关联的文档,这些文档是理解和实施GEM时的重要参考资料。
6. **状态模型**:
- **通信状态模型**:图3.2.1展示了设备通信状态的图解,表3.2提供了状态转换表,详细描述了设备在不同通信状态间的转变。
- **控制状态模型**:图3.3描绘了控制状态模型,表3.3列出了控制状态的转换规则。
- **设备处理状态**:图3.4表示了设备在执行工艺过程中的状态变化,表3.4列出了处理状态的转换逻辑。
7. **设备状态**:
设备的处理状态图(Processing State Diagram)和转换表(Processing State Transition Table)详细说明了设备在执行制造任务时可能经历的各种状态,如待机、运行、暂停、故障等。
8. **应用场景**:
GEM标准通常应用于晶圆制造、封装测试等半导体生产流程,确保设备与工厂信息系统的实时通信,实现自动化监控和控制。
"(GEM) E030-00-1103.pdf" 是关于SECS/GEM标准的一个详细文档,它定义了半导体生产设备与控制系统之间通信的标准方法,包括设备的通信状态、控制状态以及处理状态的管理,有助于实现工厂自动化和智能制造。
2019-08-01 上传
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2022-12-09 上传
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