ASML SMASH系统介绍

ASML SMASH (Single Machine Absolute Structures and Height)系统是一种用于半导体制造中的三维测量技术。它可以对晶圆上的结构进行高精度的三维扫描和测量，以帮助制造商检测和纠正制造过程中的缺陷和偏差。

SMASH系统采用了ASML公司的专利技术，包括高分辨率的激光干涉仪、自适应聚焦系统和高速数据处理算法等。它能够在非常短的时间内对晶圆上的大量结构进行高精度的测量，包括线条宽度、深度、边缘角度等参数。

SMASH系统广泛应用于半导体制造中的多个领域，包括先进的DRAM和NAND闪存制造过程中的关键结构测量、光刻机对准和曝光控制等。通过使用SMASH系统，制造商可以准确地检测和纠正制造过程中的偏差和缺陷，提高产品的制造质量和良率，从而降低生产成本和提高竞争力。

总之，ASML SMASH系统是一种高精度的半导体制造测量技术，广泛应用于制造过程中的各个阶段，能够提高产品的质量和生产效率。