半导体电性测试VTL 和 VTS分别是什么

VTL和VTS都是半导体器件电性测试中常用的术语，它们分别代表着不同的测试参数。

VTL是指Threshold Voltage for Low Power MOSFETs（低功耗MOSFET的阈值电压），是指在低功耗MOSFET器件中，控制电极（Gate）施加的电压达到一定程度后，漏电流（Drain-Source Leakage Current）开始出现的电压阈值。VTL的测试是为了判断器件是否能在低电压下正常工作而进行的。

VTS则是指Threshold Voltage for High Power MOSFETs（高功率MOSFET的阈值电压），是指在高功耗MOSFET器件中，控制电极（Gate）施加的电压达到一定程度后，漏电流（Drain-Source Leakage Current）开始出现的电压阈值。VTS的测试是为了判断器件是否能在高电压下正常工作而进行的。

因此，VTL和VTS是两个不同的测试参数，分别用于测试低功耗和高功耗MOSFET器件的特性。